PBN композитни нагреватели

Композитните нагреватели Semicorex PBN обединяват отличната топлинна проводимост на пиролитичния графит с химическата инертност и електрическа изолация на пиролитичен бор нитрид. Тези нагреватели са изградени от графит с много висока чистота и PBN, който се прилага с помощта на висококачествен CVD (химическо отлагане на пари) при условия на отлагане с висока чистота. Всеки индивидуален слой за изпълнение е депозиран с много екстремна контролируемост, за да се осигури ултра-висока чистота и последователни топлинни свойства. Графитното ядро, което осигурява бързо и равномерно нагряване навсякъде, е защитено от окисляване и замърсяване от капсулата PBN; Това прави нагревателя идеален за вакуумна газова среда и инертен газова среда. Тези нагреватели на PBN са целенасочено проектирани за използване в MBE (молекулярни лъчи епитаксия) реактори, CVD реактори и други системи за растеж на кристали.

Композитният нагревател на пиролитичния бор с нитрид-пиролитичен графит (PBN-PG) е нагревател, който използва PBN с висока изолация като субстрат и използва ниско налягане с термично разграждане на химическо отлагане на пари (CVD) при ниско налягане (под 10Torr) и висока температура, за да покрие проводимия Pg. Основните компоненти на този композитен нагревател са пиролитичен бор нитрид (PBN) и пиролитичен графит (PG). Поради отличната си устойчивост на корозия и висока температурна устойчивост, тя се използва главно за отопление на полупроводници на субстрата (използвано в MBE, MOCVD, разпръскващо покритие и др.); Суперпроводниково отопление на субстрата; нагряване на пробата по време на анализ на пробата; отопление на електронния микроскоп; метално отопление; Източник на отопление на метално изпаряване и др.

PBN нагревателите могат да издържат на работни температури до 1600 ° C във вакуум и да имат подобрена способност да издържат на топлинен шок във всички алтернативи на метална основа, на които бихте разчитали. Повърхността на нагревателя е изключително гладка и плътна и произвежда значително по -малко частици по време на работа, което е от решаващо значение за приложенията, при които замърсяването не може да се толерира като полупроводникова обработка на вафли.

Композитната структура осигурява отлична топлинна равномерност по повърхността на нагревателя и неговите резистивни пътища могат да бъдат персонализирани, за да позволят персонализирано разпределение на топлина. Този дизайн позволява бързи цикли на увеличаване и охлаждане по време на обработката, без да се напуква и деламинира поради същите коефициенти на термично разширение на използваните материали. Електродите са способни да издържат на непрекъсната работа с висок ток и също са съвместими във вакуум.

Semicorex осигурява неограничена гъвкавост на дизайна за уникални форми, размери и изисквания за мощност, когато е необходимо, за да задоволи конкретните нужди на приложението; Независимо дали става въпрос за стандартни размери на вафли или по -сложни геометрии, ние гарантираме точността на размерите и топлинната равномерност във всяка произведена единица.

PBN композитните нагреватели са идеални за ултра чисти приложения, включително:

• MBE системи за III-V и II-VI съединение Полупроводниково обработка
• Вакуумни системи за покритие за оптични компоненти
• Системи за растеж на кристали за сапфир и sic
• Термична обработка с висока чистота за лабораторни среди на научни изследвания и разработки.