Структурата на електростатичния патронник (ESC)

АнЕлектростатичен патронник (ESC)е устройство, използвано за задържане на полупроводникови пластини на място по време на процеси като ецване, отлагане или полиране. Той работи чрез генериране на електростатично поле за привличане и сигурно задържане на пластината върху повърхността на патронника, осигурявайки стабилност и прецизно подравняване по време на работа с пластината. ESC се използват широко в производството на полупроводници за подобряване на точността на процеса и ефективността на работа с пластини.

Действителният образ на конвенционаленелектростатичен патронник (ESC)е изобразено на фигурата. Основната разлика между моделите е в материала на изолационния слой на повърхността на електростатичния патронник. На фигурата тъмният цвят представлява алуминиев нитрид, докато белият цвят представлява алуминиев оксид. Структурата наелектростатичен патронниксе състои от няколко части:

1. **Изолационен слой**: Този слой е в контакт с пластината, обикновено изработена от керамика от алуминиев нитрид или алуминиев оксид поради тяхната отлична механична якост, устойчивост на висока температура и добра топлопроводимост.

2. **Ежекторен щифт и газов отвор**: Изхвърлящият щифт е предназначен за прехвърляне на пластината. Когато пластината влезе в камерата за ецване, ежекторният щифт се издига, за да я поддържа, и след това се спуска, за да постави пластината върху повърхността на електростатичния патронник. Ежекторният щифт обикновено има куха структура, позволяваща въвеждането на газ хелий, за да помогне за охлаждането на пластината.

3. **Канал за обратен поток**: Този компонент подобрява разсейването на топлината и улеснява адсорбцията на пластината.

4. **Електростатичен електрод**: Този електрод генерира електрическо поле, което създава електростатичната сила, необходима за задържане на пластината на място. Обикновено електродът е планарен и е или вграден вътре, или отложен върху изолационния материал. Често използваните проводими материали включват алуминий, мед и волфрам.

5. **Циркулираща охлаждаща вода и нагревателен електрод**: Тези елементи са отговорни основно за цялостния температурен контрол на електростатичния патронник. Нагревателният електрод и циркулиращата охлаждаща вода работят в тандем, за да поддържат стабилна температура за пластината. Разчитането единствено на циркулираща охлаждаща вода може да доведе до невъзможност за управление на топлината, генерирана по време на процеса на ецване, което потенциално компрометира стабилността на процеса.  

Semicorex предлага високо качествоЕлектростатичен патронник (ESC). Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com