Какво представлява нискотемпературното плазмено ецване?

Плазмата е четвъртото състояние на материята и играе решаваща роля както в индустриалните приложения, така и в природните явления. Например, плазмата присъства в мълния и се генерира изобилно на повърхността на слънцето, където температурата в ядрото достига удивителните 13 500°C. Тази високотемпературна плазма не е подходяща за повечето промишлени производствени процеси.

От друга страна, нискотемпературната плазма е изкуствено създадена форма на плазма, която използва енергия, а не топлина, за да ускори химичните реакции. Температурата му обикновено варира от стайна температура до няколкостотин градуса по Целзий, което го прави много ефективен за различни приложения.

Стъпки за генериране на изкуствена плазма:

1. Намалете налягането в камерата: Започнете с помощта на вакуумна помпа, за да намалите налягането в кухината. Постигането на ниско налягане е от съществено значение за стабилизиране на плазмата и улесняване на йонизацията на газа.

2. Въведете технологичен газ: Инжектирайте специфични технологични газове в кухината. Тези газове служат като основен източник на частици в плазмата.

3. Възбудете плазмата: Приложете мощност, за да йонизирате газа, ефективно образувайки плазма.

4. Деактивирайте плазмата и възстановете атмосферното налягане: След като желаните реакции приключат, изключете плазмата и върнете камерата до атмосферно налягане.

Приложения на нискотемпературна плазма в производството на полупроводници:

Нискотемпературната плазма е незаменима в производството на полупроводници, обслужвайки критични функции при сухо ецване, физическо отлагане на пари (PVD), химическо отлагане на пари (CVD), отлагане на атомен слой (ALD), йонно имплантиране, опепеляване и откриване на крайни точки. Неговата гъвкавост и ефективност го правят основен инструмент в индустрията.

Semicorex предлагависококачествени решения за плазмено ецване. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com