Порест графит за растеж на кристали SiC

Понастоящем повечето производители на SiC субстрати използват нов дизайн на процес на термично поле на тигел с порести графитни цилиндри: поставяне на суровини от SiC частици с висока чистота между стената на графитния тигел и порестия графитен цилиндър, като същевременно се задълбочава целия тигел и се увеличава диаметърът на тигела. Предимството е, че докато обемът на зареждане се увеличава, площта на изпарение на суровините също се увеличава. Новият процес решава проблема с кристалните дефекти, които са причинени от рекристализацията на горната част на суровината, докато растежът напредва на повърхността на изходния материал, засягайки материалния поток на сублимация. Новият процес също така намалява чувствителността на разпределението на температурата в зоната на суровината към растежа на кристалите, подобрява и стабилизира ефективността на масовия трансфер, намалява влиянието на въглеродните включвания в по-късните етапи на растеж и допълнително подобрява качеството на SiC кристалите. Новият процес също така използва метод за фиксиране на кристална опора без зародиши, който не залепва за зародишния кристал, което позволява свободно термично разширение и благоприятства облекчаване на напрежението. Този нов процес оптимизира топлинното поле и значително подобрява ефективността на разширението на диаметъра.

Качеството и добивът на SiC монокристали, получени чрез този нов процес, са силно зависими от физичните свойства на тигелния графит и порестия графит. Спешното търсене на високоефективен порест графит не само прави порестия графит изключително скъп, но също така причинява сериозен недостиг на пазара.

Основни изисквания за ефективност напорест графит

(1) Подходящо разпределение на размера на порите;

(2) Достатъчно висока порьозност;

(3) Механична якост, която отговаря на изискванията за обработка и употреба.

Semicorex предлага високо качествопорест графитчасти. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com