Какво е SiC лодка и какви са нейните различни производствени процеси?

1. Различните производствени процеси наSiC лодка

(1) Покриване на слой отSiC филмвърху повърхността на графитакристални лодкичрез CVD

Този тип лодка има графитна сърцевина, която е машинно обработена от едно цяло. Въпреки това,графитът е порести склонни към генериране на частици, което налага прилагането на aSiC филмово покритиена повърхността му. Поради несъответствието в коефициента на термично разширение (CTE) между графитното тяло иSiC филм, има вероятност покритието да се отлепи след множество цикли на нагряване и охлаждане, което води до замърсяване с частици. Тези лодки са най-евтините и имат живот около една година.

(2) Покриване на слой отSiC филмна прекристализиранаSiC кристални лодки

ПрекристализиранSiC лодкисъщо са порести и могат лесно да генерират частици. Следователно отделните компоненти на рекристализиратSiC лодкитрябва да бъдат предварително оформени, синтеровани и след това обработени отделно. След това компонентите се свързват заедно при високи температури с помощта на Si паста. Веднъж сглобени в една лодка, aSiC филмсе прилага чрез CVD. Това прекристализираSiC лодкаима най-дългия производствен процес и е скъп, но повърхносттаCVD покритиесъщо могат да бъдат повредени с продължителност на живота около три години.

(3)МонолитенSiC кристални лодки

Тезилодкиса изцяло съставени от SiC материал. SiC прахът трябва да бъде формован и синтерован във формата на монолитна лодка. Изключително скъпи, те са много издръжливи и е по-малко вероятно да генерират частици. Тези лодки обаче съдържат 10-15% свободен силиций, който е податлив на ерозия от флуор и хлор, което води до замърсяване с частици.

2. Защо не се препоръчва химическо чистене?

В обобщение, заSiC лодкипокрити с aSiC филм чрез CVD, повърхностното покритие е склонно към лющене по време на химическо чистене, което причинява замърсяване с частици. За монолитенSiC лодкикоито съдържат малко количество свободен силиций, излагането на газове, съдържащи флуор или хлор, може да доведе до ерозия и генериране на частици, като по този начин причини замърсяване.**