Какво е нагревател Aln

Керамичен нагревател за алуминиев нитрид (ALN)За полупроводници е устройство, използвано за загряване на полупроводникови материали. Той е изработен главно от алуминиев нитриден керамичен материал, има отлична топлопроводимост и висока температурна устойчивост и може да работи стабилно при високи температури. ALN нагревателят обикновено използва проводник за съпротивление като отоплителен елемент. Чрез захранване на проводника за съпротивление за загряване, топлината се прехвърля на повърхността на нагревателя, за да се нагрее полупроводниковия материал. ALN нагревателят за полупроводник играе важна роля в процеса на производство на полупроводници и може да се използва в процеси като растеж на кристали, отгряване и печене. Глобалният пазар на нагреватели на ALN за полупроводници достигна 535,05 милиона щатски долара през 2022 г., увеличение на годишна база от 7,13%. Очаква се размерът на пазара да достигне 848,21 милиона щатски долара през 2029 г., като темпът на растеж (CAGR) от 6,72% от 2023 до 2029 г.

Технически затруднения при обработкатаALN нагревател

1. По време на обработката на нагревател ALN е лесно да се счупи и срути поради промени във вътрешния стрес на материала, като по този начин се отразява на квалифицираната скорост на готовия продукт. Производството на алуминиеви нитридни керамични материали не е лесно, а ниската скорост на добив на нагревател ALN също е една от важните причини за високата цена на алуминиевите нитридни керамични отоплителни плочи.

2. Проблемът със самите керамични материали от алуминиев нитрид. Тъй като в индустрията за производство на керамични материали от алуминиев нитрид, структурата на самия материал ще се променя съответно при различни температурни и екологични условия. Производството на алуминиеви нитридни керамични материали е сравнително трудна задача. Ниското качество на материала също е важна причина за ниската квалифицирана скорост на нагревателя ALN.

Фактори, влияещи върху топлинната проводимост

Основните фактори, влияещи върху топлинната проводимост на керамиката на алуминиевата нитрид, са плътността на решетката, съдържанието на кислород, чистотата на прах, микроструктурата и др., Които ще повлияят на топлинната проводимост на алуминиевата нитридна керамика.

Плътност на решетката

Според топлинната проводимост на алуминиевите нитридни керамични материали, наличието на голям брой пори в проби с ниска плътност ще повлияе на разсейването на фононите, ще намали средния им свободен път и по този начин ще намали термичната проводимост на алуминиевата нитридна керамика. В същото време механичните свойства на пробите с ниска плътност може да не отговарят на съответните изисквания за приложение. Следователно, високата плътност е предпоставката за алуминиева нитридна керамика да има висока топлопроводимост.

Съдържание и примеси на кислород

За алуминиевата нитридна керамика, поради силния си афинитет към кислорода, примесите на кислорода се дифундират лесно в решетката на Aln по време на процеса на синтероване, което е пряко свързано с различни дефекти и е основният източник на влияние върху термичната проводимост на алуминиевия нитрид. In the scattering of phonons-defects, the main role is played by the presence of impurity oxygen and aluminum oxide. Тъй като алуминиевият нитрид е лесен за хидролизиране и окисляване, на повърхността се образува слой от алуминиев оксид филм, а алуминиевият оксид се разтваря в алуминиевата нитридна решетка, за да се получат алуминиеви свободни работни места.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com