Вътрешна направляваща тръба

Вътрешната водеща тръба Semicorex е прецизно проектиранакомпонент въглерод/въглерод (C/C).предназначен за усъвършенствани приложения при високотемпературно термично поле, особено при растежа на силициеви кристали с висока чистота. Като критичен елемент в рамките на пещите за растеж на кристали, този компонент играе централна роля в оформянето и стабилизирането на термичния градиент, осигурявайки оптимално образуване на кристали и постоянно качество на материала.

Произведена от въглероден композит с висока плътност, подсилен с въглеродни влакна, вътрешната водеща тръба предлага изключителна структурна цялост и термична стабилност при екстремни условия. С плътност от ≥1,35 g/cm³ и якост на огъване от ≥110 MPa, той поддържа механична здравина дори при продължително излагане на повишени температури. Тези свойства са от съществено значение при производството на силиций от полупроводников клас, където дори незначителни колебания в топлинните условия могат значително да повлияят на кристалната еднородност и процента на дефектите.

Основна функционалност: Прецизен контрол на градиента

Основната роля на C/C вътрешната водеща тръба е да изгради прецизно градиентно температурно поле. По време на процеса на растеж на силициевите кристали, той се позиционира директно над стопилката, за да:

Директен газов поток: Насочва потока на инертен газ аргон, като гарантира, че парите от силициев оксид (SiO) се измиват ефективно от повърхността на стопилката, предотвратявайки замърсяването с кислород в кристала.

Термично екраниране: Той предпазва растящия кристал от директно топлинно излъчване от стените на тигела, установявайки стръмния аксиален температурен градиент, необходим за високоскоростно, висококачествено издърпване на кристали.

Енергийна ефективност: Чрез концентриране на топлината в зоната на стопилка и изолиране на горните компоненти на пещта, това значително намалява общата консумация на енергия.

Технически спецификации и съвършенство на материалите

Нашите вътрешни водещи тръби са произведени с помощта на висока плътностВъглерод/Въглеродни композити, осигурявайки превъзходна алтернатива на традиционния графит. Свойствата на материала са оптимизирани за екстремни условия на полупроводникови вакуумни пещи:

Плътност: ≥ 1,35 g/cm³

Якост на огъване: ≥ 110 MPa

Коефициент на термично разширение (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Топлопроводимост (стайна температура): ≤ 10 W/(m·K)

Индустрия

Тъй като индустрията се движи към по-големи размери на вафли (300 мм и 450 мм), изискванията към термичното поле нарастват експоненциално. Нашите вътрешни водещи тръби са съвместими с основните марки CZ пещи и могат да бъдат персонализирани по отношение на геометрия и покритие.