Semicorex Horizontal Wafer Cassette е основен инструмент в индустрията за производство на полупроводници, предлагащ значителни предимства в защитата на пластините, контрола на замърсяването и ефективността на обработката.
Свойства на материала
Semicorex Horizontal Vafer Cassette е жизненоважен инструмент в полупроводниковата индустрия за защита и обработка на пластини в различни фази на производство. Често наричани носители за пластини, тези касети са проектирани да държат и преместват няколко пластини с еднакъв размер. Те осигуряват отлична производителност при различни производствени условия, като отговарят на специфични изисквания на процеса, като термична обработка, и се предлагат в широка гама от материали.
Различни избори на материали
Хоризонталните вафлени касети се предлагат в различни високоефективни материали, за да задоволят разнообразните изисквания на производството на полупроводници. Те осигуряват изключителна химическа устойчивост и термична стабилност и включват PVDF, ECTFE Halar, PFA тефлон и PTFE тефлон. Опции от неръждаема стомана като 304L и 316 се препоръчват за приложения, изискващи повишена механична якост и устойчивост на корозия. Естественият полипропилен също се използва поради неговите икономични и леки характеристики, които позволяват гъвкавост при приложение, като същевременно запазват целостта на процедурата за обработка на пластини.
Характеристики на Advanced Design
С характеристики, които могат да се регулират, за да отговарят на определени оперативни изисквания, хоризонталните касети за вафли са старателно конструирани. Те се състоят от странични профили на отваряне, контактни точки на субстрата, стъпка и разстояние на субстрата, както и размери и форми, които могат да бъдат променяни. Тяхната адаптивност в различни процеси се увеличава от тяхната гъвкавост в ориентацията на субстрата и капацитета им да се справят с различни размери на субстрата. Освен това към тези касети могат да бъдат добавени функции за автоматизация и възможности за работа с касети, като например подвижни дръжки за по-голямо удобство.
Приложения
В производството на полупроводници използването на хоризонтални касети с пластини е от съществено значение за гарантиране на сигурното и ефективно боравене с пластини в различни процедури.
Хоризонталните вафлени касети са изработени от здрави, висококачествени материали и предлагат силна защита срещу физическо увреждане и замърсяване, два основни проблема в настройките на полупроводниците. Архитектурата на касетите предпазва крехките вафли по време на съхранение и транспортиране, като намалява излагането на всякакви замърсители.
Подобрено почистване и изсушаване
По-добрите резултати при измиване и сушене са възможни благодарение на огромната площ на отваряне в дизайна на хоризонталните касети за вафли. Тази характеристика е от решаващо значение за запазване на чистотата на пластините, което намалява възможността за дефекти и подобрява калибъра на готовите полупроводникови устройства.
Ефективност на химическия поток и обработка
За да се сведат до минимум местата на улавяне на материала и да се увеличи максимално динамиката на химичния поток, са проектирани хоризонтални касети за вафли. За подобряване на химическия поток и гарантиране на пълно покритие и ефективна обработка в химически вани, могат да се добавят редица допълнителни функции.
Безопасен транспорт и подравняване на вафли
Дизайнът на хоризонталната касета за пластини се характеризира с прецизно подравняване на пластините, което гарантира, че пластините се поддържат стабилно на позиция по време на транспортиране. Това намалява възможността от счупване или неправилно подравняване, което може да доведе до скъпи дефекти или забавяне на процеса. Боравенето с пластини трябва да се извършва безопасно, за да се запази целостта на производствения процес на полупроводници.
Ефективност в работния процес и ергономичност
Хоризонталните касети за вафли са лесни за използване и ефективни поради техния ергономичен дизайн, който рационализира процедурата за зареждане и разтоварване. В настройките на чисти помещения тази простота на използване подобрява ефективността на работния процес, позволявайки по-ефективни процеси и по-малко време за обработка. Производителите на полупроводници могат да увеличат ефективността и да поддържат стриктни стандарти за чистота чрез опростяване на тези процедури.