Хоризонтални кварцови вафлени лодки

Хоризонтални кварцови вафлени лодкиобикновено държат полупроводникови пластини хоризонтално в тръбите на пещта на оборудване за термична обработка, нагрявани от външни нагревателни устройства. Те се използват широко в изискващи високотемпературни корозивни процеси на топлинна обработка на полупроводници, като термично окисление, високотемпературна дифузия, отгряване и процеси на химическо отлагане на пари (CVD).

Функциите на хоризонталните кварцови вафлени лодки Semicorex

1. Стабилно задържане и закрепване

Хоризонталните кварцови пластини Semicorex имат отлична товароносимост и могат постоянно да предлагат стабилна опора за множество полупроводникови пластини. И техният оптимизиран външен дизайн и прецизна структура на слота гарантират всекивафлае идеално монтиран и здраво закрепен върху хоризонталните кварцови вафлени лодки, което значително намалява драскотините и сблъсъците на вафлите, причинени от разклащане, изместване и накланяне по време на транспортни и производствени процеси.

2. Помощ за еднородност на процеса

Структурата на слотовете с еднакво разстояние на хоризонталните кварцови пластини позволява правилното разполагане на полупроводниковите пластини, като по този начин създава стабилно и гладко поле на газовия поток във високотемпературните пещи. Структурният дизайн постига постоянен газов контакт и скорост на реакция на всяка повърхност на вафла, като по този начин ефективно намалява различни дефекти, причинени от неравномерното нагряване и диференциалния газов контакт, като непълно окисление на вафла, неравномерно отлагане на тънък слой и отклонение в концентрацията на допинг.

3.Дълготраен експлоатационен живот

Благодарение на превъзходната устойчивост на висока температура на кварцовия материал, хоризонталните кварцови вафлени лодки Semicorex могат да издържат на високи температури от 1100-1200 ℃ за дълго време без деформация или топене.Кварце химически инертен към газове, които обикновено се използват в полупроводникови процеси, като кислород, азот и хлороводород. Тази изключителна химическа инертност може да сведе до минимум риска от корозия от технологичните газове, значително удължавайки експлоатационния живот и намалявайки времето и разходите за смяна на оборудването.