Графитен нагревател за гореща зона

Графитният нагревател Semicorex за гореща зона, проектиран да работи надеждно във високотемпературни пещи, е проектиран да издържа на предизвикателните условия, присъщи на процеси като химическо отлагане на пари (CVD), епитаксия и високотемпературно отгряване. Ние от Semicorex сме посветени на производството и доставката на високопроизводителен графитен нагревател за гореща зона, който съчетава качество с рентабилност.**

Изпратете запитване

Описание на продукта

Хомогенно разпределение на температурата:Графитният нагревател за гореща зона е известен със своите равномерни характеристики на нагряване, постигнати чрез комбинация от щателна обработка на материала и прецизна машинна обработка. Тази хомогенност осигурява постоянен температурен профил по цялата нагревателна повърхност, минимизирайки термичните градиенти, които могат да доведат до неравномерна обработка на пластини, намален добив и непостоянна производителност на устройството.

Изключителна устойчивост на корозия:Графитният нагревател за гореща зона демонстрира забележителна устойчивост на различни корозивни газове и химикали, често срещани при високотемпературна обработка на полупроводници. Тази присъща инертност гарантира дългосрочна стабилност и производителност на нагревателя, минимизиране на рисковете от замърсяване и удължаване на експлоатационния живот.

Превъзходна устойчивост на окисление:За разлика от конвенционалния графит, графитният нагревател за гореща зона представя превъзходна устойчивост на окисляване, дори при повишени температури. Тази характеристика е от решаващо значение за поддържане на целостта на нагревателя и предотвратяване на образуването на замърсяване с частици в обработващата камера.

Свръхвисока химическа чистота:Графитният нагревател за гореща зона е обработен за постигане на свръхвисоки нива на чистота, минимизиране на риска от въвеждане на нежелани замърсители в средата за обработка на полупроводници. Тази изключителна чистота е от съществено значение за поддържане на целостта на деликатните полупроводникови материали и осигуряване на желаните електрически и оптични свойства на произведените устройства.

Висока механична якост и стабилност:Графитният нагревател за гореща зона притежава прекрасна механична якост и стабилност на размерите при повишени температури, което позволява производството на здрави нагревателни компоненти, способни да издържат на тежките условия на работа при висока температура, включително термични цикли и механични натоварвания.