Графитен електрод

Semicorex Graphite Electrode е високочист, прецизно произведен графитен компонент за използване в полупроводникови топлинни приложения, където електрическата проводимост, термичната стабилност и точността на размерите са от първостепенно значение. Всъщност този тип електроди се използват във високотемпературни пещи, епитаксиални реактори и камери за термична обработка, улеснявайки стабилно провеждане на ток, пренос на топлина и стабилност при агресивни условия на температура и атмосфера. Благодарение на изключителната чистота, еднаквостта на твърдата структура и високите механични свойства на графитните електроди Semicorex, те могат да осигурят надеждна топлинна ефективност като нагревателни елементи при взискателни полупроводникови приложения

Графитният електрод е произведен от висококачествен финозърнест графитен материал, като всеки един е направен чрез усъвършенствана последователност от екструзия, високотемпературна карбонизация и графитизация. Графитната микроструктура е проектирана за приблизително постоянно електрическо съпротивление, висока топлопроводимост и механична стабилност. Крайният продукт е термичен проводник с висока чистота, който поддържа физическо състояние и равномерно разпределение на тока в среда с висока мощност, както и бързи температурни колебания.

Ultra Performance в нашияграфит

Нашият графит гарантира превъзходна еднородност на работата. Първо, по време на процеса на карбонизация нашите пещи имат само 115 кубични метра. Нашият технически екип наблюдава температурното поле на графитните продукти в различни зони на всяка пещ. В началния нискотемпературен етап (0-200°C) контролираме температурата в рамките на ±10°C, а при високи температури (над 600°C) в рамките на ±1°C. Ние не само наблюдаваме температурното поле между различните графитни частици, но и повърхностната и вътрешната температура на всяко отделно графитно парче, като я контролираме в рамките на ±3°C. Ние наблюдаваме 8 температурни точки във всяка карбонизираща пещ.

Второ, по време на процеса на графитизация, като вземем за пример партида от 500 kg, ние също наблюдаваме 8 температурни точки. След графитизиране, ние произволно вземаме проби и тестваме разрушително 24 точки по осите X, Y и Z, за да гарантираме еднаквост. Повечето компании в индустрията тестват само оста X или най-много оста XY, като типичните производители тестват само 6-8 точки, а по-добрите тестват 12 точки. Тестваме 24 точки.

В термичното поле на полупроводниците, графитният електрод е критична част от нагревателния модул, насочва електрически ток в зоната на нагряване и позволява контролирано разпределение на температурата в специфичен процес, като окисление, дифузия, LPCVD или епитаксия. Графитният електрод трябва да поддържа надеждна оперативна роля при температури, надвишаващи 2000°C, като същевременно е устойчив на окисление, изкривяване или замърсяване на мястото на нагряване.

Графитните електроди Semicorex имат изключителна електрическа проводимост, която улеснява ефективното доставяне на енергия с минимални загуби, и притежават отлична топлопроводимост, позволяваща бърз равномерен пренос на топлина в пещта. Комбинацията от ниско термично разширение и висока механична якост намалява деформацията и напукването по време на термични цикли, осигурявайки стабилно поведение при дълги експлоатационни срокове. Всеки електрод е обработен до строги толеранси на размерите и фина повърхностна обработка, за да се осигури постоянен контакт и незначително електрическо съпротивление на контактната повърхност.

Имайки предвид специфичните изисквания на полупроводниковите процеси, Semicorex може да проектира персонализирани дизайни на електроди, които да отговарят на всяка конфигурация на пещ и спецификация на мощността. Могат да бъдат предоставени различни диаметри, дължини, видове връзки или повърхностни покрития. Когато е необходимо, могат да се прилагат покриващи материали, като SiC или пиролитичен въглерод, за да се поддържа устойчивостта на окисление и експлоатационния живот в среда с високо съдържание на кислород или реактивен газ.

Високата чистота награфитен материалслужи за осигуряване на невероятно ниски нива на метални примеси (и газообразни примеси), често повече от 99,999% въглерод. Такива ниски нива на примеси помагат да се избегне замърсяването на полупроводниковите пластини по време на термична обработка. В комбинация със значителната дълбочина на машинна обработка и полирано повърхностно покритие, графитните електроди Semicorex отговарят както на механичната, така и на химическата стабилност на най-съвременните технологии за производство на пластини.

Независимо дали се използва в дифузионни пещи, епитаксиални реактори или високотемпературно оборудване за обработка, графитният електрод Semicorex осигурява несравнима производителност в най-взискателните термични среди. Чрез комбиниране на висока чистота, прецизна геометрия и усъвършенствана обработка на материала, Semicorex доставя решение за електроди, което осигурява стабилна проводимост на тока, постоянно нагряване и дългосрочна оперативна надеждност, която е от съществено значение за производството на полупроводници от следващо поколение.