Стъклено въглеродно покритие

Semicorex стъклено въглеродно покритие, което усеща като вътрешен изолационен слой в епитаксиални реактори на силициев карбид. Това е високоефективен изолационен материал, предназначен за напреднали топлинни среди. Този продукт преодолява типичните полупроводникови производствени предизвикателства, като предлага превъзходни решения поради леките си и отлични свойства на топлинната изолация наГрафит се почувства, съчетан с целостта на повърхността и химическата инертност, придадена от стъклено въглеродно покритие.

Основният материал е висока чистотаГрафит се почувстваизбра за своята ниска термична проводимост с висока температура и леко тегло. Нормалният графит усещане обикновено има проливане на повърхностни влакна и генериране на частици при повишени температури, които могат да замърсят процесорната среда в чувствителни епитаксиални системи. За да се смекчи този проблем, повърхността на графитния филц е равномерно покрита със слой от стъклен въглерод-плътна, непоркова форма на въглерод, известна със своята химическа инертност, ниска проницаемост на газа и изключителна термична стабилност.

Стъкленият въглерод е нехрафитизиран въглерод, който съчетава свойствата на стъклото и керамиката. За разлика от кристалния графит, той е аморфен, почти 100% SP2 хибридизиран въглероден материал, който се образува чрез високотемпературно синтероване на полимеризирани органични прекурсори, като фенолна смола, фурил алкохолна смола и др., В атмосфера на инертен газ. Тъй като е черен навсякъде и има гладка повърхност, подобна на стъклото, се нарича стъклен въглерод.

Стъкленото въглеродно покритие може да елиминира генерирането на частици на пещта, да осигури запечатани повърхностни пори, да има отлични свойства на разрушаване и да намали пропускливостта, което прави този материал много подходящ за непрекъснати капки и продукти в полупроводниковата индустрия. Този материал има широк спектър от приложения в полупроводниковата индустрия, особено в графитни части, като компоненти на единично кристално силиций за издърпване, компоненти на епитаксиалния растеж, непрекъснати форми за леене, стъклени запечатващи джиги и др.

Стъкленият въглерод има висока температурна устойчивост до 3000 ° C в инертен газ или вакуум и за разлика от всички други керамични и метални високотемпературни материали, якостта на стъкления въглерод се увеличава с повишаване на температурата до 2700k и не става крехка и има изключително висока устойчивост на термична удар, така че краткото отопление и време на охлаждане няма проблем. В допълнение, стъкленият въглерод има ниска маса, ниска топлинна абсорбция и ниско термично разширение, така че е подходящ за почти всички приложения с висока температура.

Стъкленото въглеродно покритие играе решаваща роля за запечатването на повърхностните пори на графита, което значително намалява отделянето на частици и въглеродния прах по време на работа. Това е особено критично в процесите на растеж на SIC Epitaxial, където дори минималното замърсяване може да компрометира качеството на вафли и работата на устройството. Чрез капсулиране на порестата структура на филцът с гладка, твърда стъклена въглеродна обвивка, покритието осигурява чиста и стабилна топлинна среда в рамките на реакционната камера.

Основни предимства на стъкленото въглеродно покритие включват:

Намалено проливане на частици: Плътното покритие ефективно се заключва в разхлабени влакна и частици, предотвратявайки замърсяването на вафли и компонентите на реактора.

Висока термична стабилност: както Графит Фелт, така и стъклен въглерод могат да издържат на температурите над 2000 ° C в инертна или вакуумна атмосфера, което прави продукта идеален за високотемпературни процеси на SIC.

Химическа инертност: Стъклената въглеродна повърхност е устойчива на повечето киселини и корозивни газове, удължавайки оперативния живот на изолационния слой при тежки условия.

Подобрена последователност на процеса: Минизираното генериране на частици допринася за по-стабилна и повтаряща се епитаксиална среда за растеж, която е от съществено значение за производството на висококачествени SIC вафли.

Приложенията на стъклено въглеродно покритие се усещат предимно до SIC епитаксиални пещи за растеж, където се използва като термичен изолационен слой в горещата зона. Продуктът обикновено се инсталира като лигавичен материал в горните или долните изолационни стекове, където осигурява както термична защита, така и осигуряване на чистота.