Пръстен от стопен кварц

Приложенията на пръстен от стопен кварц Semicorex в ецване на полупроводници

Процесът на ецване на полупроводници е решаваща стъпка в производството на полупроводникови устройства. По време на ецване специфични зони от вафлата се отстраняват селективно, за да се създадат сложни шарки. Този процес изисква материали, които могат да издържат на екстремни условия и осигуряват постоянна производителност. Пръстенът от стопен кварц е проектиран да отговаря на тези строги изисквания, като гарантира, че процесът на ецване е прецизен, ефективен и надежден.

Предимства на пръстена от стопен кварц Semicorex

1. Изключителна чистота

Чистотата на SiO2 в стопения кварцов пръстен е едно от най-значимите му предимства. С нива на чистота, вариращи от 99,995% до 99,999%, стопеният кварцов пръстен осигурява минимално замърсяване и висококачествени резултати от ецване. Тази висока чистота е от решаващо значение при производството на полупроводници, където дори и най-малките примеси могат да повлияят на производителността и надеждността на крайния продукт.

2. Превъзходна термична стабилност

Пръстенът от стопен кварц е проектиран да издържа на екстремни температури, с работна температура до 1250°C и температура на омекване от 1730°C. Тази висока термична стабилност позволява на пръстена от стопен кварц да поддържа своята структурна цялост и ефективност при интензивни топлинни условия, които обикновено се срещат в процеса на ецване.

3. Нисък коефициент на разширение

Изключително ниският коефициент на разширение на пръстена от стопен кварц го прави изключително устойчив на термичен удар. Това свойство е от решаващо значение в процеса на ецване, където могат да възникнат бързи температурни промени. Ниският коефициент на разширение гарантира, че пръстенът от стопен кварц остава стабилен и надежден, намалявайки риска от напукване и други проблеми, свързани с топлинен стрес.

4. Химическа устойчивост

Пръстенът от стопен кварц показва отлична устойчивост на киселини и основи. Тази химическа устойчивост гарантира, че пръстенът от стопен кварц може да издържи на тежките условия на процеса на ецване, като запазва своята производителност и издръжливост за продължителни периоди.

5. Без микромехурчета и ниско съдържание на хидроксил

Липсата на микромехурчета и ниското съдържание на хидроксил в пръстена от стопен кварц гарантира, че те осигуряват постоянна и надеждна работа. Микромехурчетата и високото съдържание на хидроксил могат да доведат до дефекти и замърсяване в процеса на ецване, което да повлияе на качеството и надеждността на крайния продукт.

6. Ниска топлопроводимост и диелектрична константа

Пръстенът от стопен кварц има много ниска топлопроводимост и диелектрична константа, както и най-ниския тангенс на загубите от почти всички известни материали. Ниската топлопроводимост спомага за ефективното разсейване на топлината, намалявайки риска от термично увреждане на пластината. Ниската диелектрична константа и тангенсът на загубите гарантират, че нашите кварцови пръстени осигуряват отлична електрическа изолация, намалявайки риска от електрически смущения и подобрявайки цялостната ефективност на процеса на ецване.