Пиедестал от стопен кварц

При производството на полупроводници пиедесталът от стопен кварц служи като опорна структура за кварцовата лодка, която държи пластините. Чрез поддържане на постоянна температура, той помага за постигане на равномерно отлагане на тънък слой, критичен фактор за производителността и надеждността на полупроводниковите устройства. Пиедесталът гарантира, че разпределението на топлината и светлината в процесната камера е равномерно, като по този начин подобрява цялостното качество на процеса на отлагане.

Предимства на стопения кварцов материал

1. Устойчивост на висока температура

Пиедесталът от стопен кварц може да се похвали с точка на омекване от приблизително 1730°C, което му позволява да издържи на продължителна употреба при температури в диапазона от 1100°C до 1250°C. Освен това може да издържи краткотрайно излагане на температури до 1450°C.

2. Устойчивост на корозия

Пиедесталът от стопен кварц е химически инертен към повечето киселини, с изключение на флуороводородна киселина. Неговата киселинна устойчивост превъзхожда тази на керамиката с 30 пъти и неръждаемата стомана с 150 пъти. При повишени температури никой друг материал не може да достигне химическата стабилност на стопения кварц, което го прави идеален избор за сурови химически среди.

3. Термична стабилност

Една от отличителните характеристики на пиедестала от стопен кварц е неговият минимален коефициент на топлинно разширение. Това свойство му позволява да издържа на сериозни температурни промени без напукване. Например, той може бързо да се нагрее до 1100°C и след това да се потопи във вода със стайна температура, без да се повредят – съществена характеристика за производствени процеси с висок стрес.

Производствен процес

Производственият процес на пиедестала от стопен кварц е щателно контролиран, за да се гарантират най-високите стандарти за качество. Пиедесталите се произвеждат чрез процеси на термоформоване и заваряване, извършвани в чисти помещения от клас 10 000 или по-висок. Последващо почистване с ултрачиста вода (18 MΩ)допълнително гарантира чистотата и ефективността на продукта. Всеки пиедестал от стопен кварц се подлага на строга проверка, почистване и опаковане в чиста стая от клас 1000 или по-висока, за да отговори на строгите изисквания за производство на полупроводници.

Непрозрачен кварцов материал с висока чистота

За ефективно блокиране на топлината и светлината, пиедесталът от стопен кварц използва непрозрачен кварцов материал с висока чистота. Уникалните свойства на този материал подобряват способността на пиедестала да поддържа стабилна и равномерна температура в рамките на процесната камера, като по този начин гарантира постоянно качество на отлагане на тънък слой върху пластини.

Широка гама от приложения

Изключителните свойства на пиедестала от стопен кварц го правят подходящ за различни приложения в полупроводниковата индустрия. В процесите на ALD поддържа прецизния контрол на растежа на тънък слой на атомно ниво, което е от съществено значение за производството на усъвършенствани полупроводникови устройства. По време на процесите LPCVD термичната стабилност на пиедестала и възможностите за блокиране на светлината допринасят за равномерно отлагане на филм, подобрявайки производителността и добива на устройството.

В процесите на дифузия устойчивостта на високи температури и химическата инертност на Fused Quartz Pedestal осигуряват надеждно и постоянно легиране на полупроводникови материали. Тези процеси са критични за определяне на електрическите свойства на полупроводниковите устройства и използването на висококачествени материали като стопен кварц е от съществено значение за постигането на оптимални резултати.