CVD и CVI вакуумна пещ

Semicorex е мащабен производител и доставчик на продукти с покритие от силициев карбид в Китай. Ние предлагаме персонализирани решения за пещи. Нашата CVD и CVI вакуумна пещ има добро ценово предимство и покрива много от европейските и американските пазари. Очакваме с нетърпение да станем ваш дългосрочен партньор.

Изпратете запитване

Описание на продукта

Semicorex CVD и CVI Vacuum Furnace е висококачествен инструмент, предназначен за процеси на химическо отлагане на пари (CVD). Реакционните температури достигат до 2200°C. Той е способен да отлага широка гама от материали, включително силициев карбид, борен нитрид, графен и др. CVD пещта е със здрава конструкция и е изработена от висококачествени материали, осигуряващи надеждност и издръжливост при дълготрайна употреба. Има хоризонтални и вертикални структури.

Приложение:C/C композитен спирачен диск, тигел, матрица и др.

Характеристики на Semicorex CVD и CVI вакуумна пещ

1. Здрав дизайн, изработен от висококачествени материали за дълготрайна употреба;

2.Прецизно контролирано подаване на газ чрез използване на контролери за масов поток и висококачествени вентили;

3. Оборудван с функции за безопасност като защита от прегряване и откриване на изтичане на газ за безопасна и надеждна работа;

4. Използване на множество зони за контрол на температурата, голяма равномерност на температурата;

5. Специално проектирана камера за отлагане с добър запечатващ ефект и страхотна производителност срещу замърсяване;

6. Използване на множество канали за отлагане с равномерен газов поток, без мъртви ъгли на отлагане и перфектна повърхност за отлагане;

7. Има обработка за катран, твърд прах и органични газове по време на процеса на отлагане

Опционални функции:

• Врата на пещта: винтова/хидравлична/ръчно повдигане; люлеещо се отваряне/паралелно отваряне (голям размер

врата на пещта); ръчно стегнат/автоматичен заключващ пръстен стегнат

• Корпус на пещта: изцяло въглеродна стомана/вътрешен слой неръждаема стомана/изцяло неръждаема стомана

• Гореща зона на пещта: мек въглероден филц/мек графитен филц/твърд композитен филц/CFC

•Нагревателен елемент и муфел: изостатичен пресов графит/графит с висока чистота, якост и плътност/графит с фин размер

• Система за технологичен газ: обемен/масов разходомер

• Термодвойка: K тип/N тип/C тип/S тип

Спецификации на CVD пещ
Модел	Размер на работната зона (Ш × В × Д) mm	Макс. Температура (°C)	температура Еднородност (°C)	Максимален вакуум (Pa)	Скорост на нарастване на налягането (Pa/h)
LFH-6900-C	600×600×900	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-10015-C	1000×1000×1500	1500	±7,5	1-100	0.67
LFH-1220-C	1200×1200×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-1530-C	1500×1500×3000	1500	±10	1-100	0.67
LFH-2535-C	2500×2000×3500	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D3050-C	φ300×500	1500	±5	1-100	0.67
LFV-D6080-C	φ600×800	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D8120-C	φ800×1200	1500	±7,5	1-100	0.67
LFV-D11-C	φ1100×2000	1500	±10	1-100	0.67
LFV-D26-C	φ2600×3200	1500	±10	1-100	0.67

* Горните параметри могат да бъдат коригирани според изискванията на процеса, те не са като стандарт за приемане, детайлната спецификация. ще бъдат посочени в техническото предложение и договорите.