Подложка за тигел

При високотемпературното производство на полупроводници стабилността и прецизността са от решаващо значение за осигуряване на постоянно качество на кристалите. Semicorex Crucible Support Tray играе жизненоважна, но често пренебрегвана роля в поддържането на целостта на процеса на растеж на кристалите, като осигурява надеждна основа при екстремни термични и механични условия.

Подложната тава за тигел, известна още като aвъглерод/въглерод (C/C)държач за тигел, е специално проектиран да поддържа кварцови или графитни тигли по време на растежа на монокристален силиций. Разположен в основата на термичното поле, този компонент трябва да издържа на продължително излагане на високи температури, като същевременно поддържа структурна цялост и стабилност на размерите. Неговият здрав дизайн гарантира, че тигелът остава сигурно позициониран по време на целия процес, минимизирайки вибрациите, деформацията или неправилното подравняване, което може да повлияе отрицателно на качеството на кристала.

Роля на C/C опорната тава

По време на растежа на монокристален силиций температурите често надвишават 1400°C. Традиционните графитни материали, макар и полезни, често са изправени пред предизвикателства по отношение на продължителността на живота и деформацията под голямото тегло на разтопения силиций. Нашата C/C композитна подложка за тигел решава тези болезнени точки.

Чрез използване на матрица, подсилена с въглеродни влакна с висока якост, тази тава предлага "почти нулев" профил на термично разширение и изключителна товароносимост. Той служи като интерфейс между тигела и въртящия се вал, като поддържа идеално равна равнина, за да предотврати турбуленцията на стопилката и кристалните дефекти.

Технически спецификации и съвършенство на материалите

Плътност: ≥ 1,3 g/cm³

Якост на огъване: ≥ 110 MPa

Коефициент на термично разширение (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Якост на натиск: ≥ 160 MPa