8-инчови пръстени за вал

8-инчовите пръстени на Semicorex са авангардни полупроводникови обработка на хардуера, предназначен да осигури и поддържа безопасно силиконови вафли чрез важни процеси на термични, офорт и отлагане. Конструиран от висококачествен графит с гъстпокритие на силициев карбид (SIC)За допълнителна якост пръстенът на държача на вафли дава превъзходна топлинна стабилност, химическа устойчивост и механична якост, което го прави идеален за използване във високотемпературна и корозивна среда като CVD (химическо отлагане на пари), PECVD и епитаксия.

Основни характеристики:

Състав на материала:

Материалът на субстрата еГрафит с висока чист, който е избран за висока топлопроводимост и структурна хомогенност. С висока плътност и равномерноФилмово покритие със силициев карбид (SIC)се прилага на повърхността, което показва висока устойчивост на окисляване и химическа атака дори при повишени температури над 1000 ° C. Сместа съдържа срок на годност с дълга продължителност и минимален риск от замърсяване на вафлите.

Сигурно позициониране на вафли

Проектиран по-специално за задържане на 8-инчови (200 мм) вафли, пръстенът на валфите държи точни допустими отклонения и оптимално проектирана вътрешна геометрия за сигурно захващане на вафлата. Пръстенът остава стабилен в положение по време на термичен цикъл и поток на газ, минимизирайки микро движение, което може да доведе до създаване на частици или счупване на вафли.

Топлинна равномерност:

Присъщата топлопроводимост на графитния субстрат и стабилността на SIC покритието гарантират постоянен топлопренос върху повърхността на вафлите. Това води до последователни резултати от процеса, намален термичен стрес и по -добър добив на устройството.

Химическа и плазмена устойчивост:

SIC повърхността предпазва графитното ядро от сурови процесорни плазми и газове, предлагайки устойчивост на многократни процесорни цикли. Химическата инертност е особено полезна в корозивния халоген, съдържащ офорт или реактивна газова среда.

Налична персонализиране:

8-инчовите пръстени на валфите могат да бъдат проектирани по поръчка, за да отговарят на конкретни изисквания за оборудване или процеси, т.е. вариации в дизайна на поддръжката на ръба, местоположението на слотовете и конфигурацията на монтажа. Нашите дизайнери работят с OEM и FABs, за да осигурят възможно най -високата производителност за всяка употреба.

Приложения:

• Lpcvd / pecvd / apcvd
• Епитаксиални процеси на растеж
• Дифузионни пещи
• Отгряване с висока температура
• Други полупроводникови системи за термична обработка

Всеки 8-инчов пръстени на валфите претърпява строга проверка като проверка на точността на размерите, тест за адхезия на покритието и квалификация за термично колоездене. Нашата модерна технология за производство гарантира еднаква дебелина на покритието на SIC и най -доброто покритие на повърхността, за да се изпълнят високите изисквания на полупроводниковата индустрия.

8-инчовите пръстени на Semicorex (графит, покрит с SIC) са основно оборудване за производство на полупроводници от следващо поколение, осигурявайки механична точност, издръжливост на материала и химическа стабилност. От модернизацията на процесното оборудване до изграждането на платформи за вафли от следващо поколение, този продукт предлага надеждността и производителността, необходими за да се даде възможност за днешните взискателни производствени среди.