15" кварцов буркан със звънец

Semicorex 15" Quartz Bell Jar е проектиран да посрещне тези предизвикателства, осигурявайки високоефективно решение за обработка на партиди от среден до голям мащаб, където термичната еднородност и чистотата на материала са от съществено значение за максимизиране на добива. В полупроводниковата и тънкослойната промишленост целостта на камерата за обработка е от първостепенно значение. Тъй като размерите на вафлите се увеличават и възлите се свиват, изискването за чист, стабилна и химически инертна среда става неподлежаща на обсъждане.

1. Материалознание: Чистотата на стопения силициев диоксид

Основата на нашия звънец е с висока чистотастопен силициев диоксид (кварц). За разлика от стандартното стъкло, кварцът се състои почти изцяло от SiO2, осигурявайки уникални свойства, които са жизненоважни за производството на полупроводници:

Изключително ниско замърсяване: Нашият кварц е обработен, за да минимизира металните микроелементи (като Al, Fe, Na и K) до нивото на части на милиард (ppb). Това предотвратява дифузията на примеси във вафлата по време на високотемпературни цикли, като гарантира електрическата цялост на устройствата.

Превъзходна устойчивост на термичен удар: Кварцът притежава почти нулев коефициент на термично разширение (CTE). Това позволява на 15-инчовия кварцов буркан да издържи на бързо повишаване на температурата и охлаждане без риск от счупване или структурна умора - критично изискване за високопроизводителни реактори.

Отлична химическа инертност: Кварцът е силно устойчив на повечето киселини (с изключение на флуороводородна киселина) и корозивни технологични газове, което гарантира, че камерата няма да се разгради или отделя газ по време на агресивни цикли на ецване или отлагане.

2. Прецизно инженерство и оптична яснота

15-инчовият кварцов звънец осигурява максимален обем и оптимална динамика на газовия поток за целите на партидната обработка на вафли. Бурканът има вертикален комин (известен също като гърло), който е оптимално проектиран да осигурява вход за газ или да подпомага извличането на газ чрез вакуум от буркана, което е показано на изображението по-горе.

Оптична прозрачност - Високото ниво на предаване накварцов материалза излъчване на дължини на вълните в ултравиолетовите, видимите и инфрачервените области на спектъра позволява обработка в реално време, както и използването на външни лампови нагреватели за бърза термична обработка (RTP).

Подсилени уплътняващи повърхности - Гърлото на буркана има специално разработено непрозрачно бяло уплътнение (наричано също шлифовано съединение), което осигурява херметична (въздушно запечатана) и вакуумна връзка между основната плоча на реактора и буркана.

Отгряване за облекчаване на стреса - Всички 15" кварцови буркани са подложени на строг термичен процес на отгряване, за да се облекчи вътрешното механично напрежение, което е било поставено върху буркана чрез механичния процес на издухване или оформяне на буркана, като по този начин значително се намалява вероятността бурканът спонтанно да се повреди, когато е поставен под вакуумно натоварване.

3. Критични приложения в полупроводниковата фабрика

Нашият 15-инчов кварцов буркан е специално проектиран за интегриране в следните процеси с висока стойност:

Силициева епитаксия: Осигуряване на прозрачен, нереактивен съд за отглеждане на висококачествени монокристални силициеви слоеве.

Плазмено подобрено CVD (PECVD): Издържа на корозивната плазмена среда, като същевременно поддържа висока диелектрична якост.

Дифузия и окисление: Служи като чиста камера с висока топлина за образуване на оксиди на вратата и вкарване на добавка.

Производство на заготовки за оптични влакна: Идеален за отлагане на силициев диоксид с висока чистота при производството на специално стъкло.

В Semicorex обработваме всеки буркан като част от прецизно лабораторно оборудване. Нашият процес включва: Стриктно снабдяване с материали с проверен електронен класкварцслитъци; усъвършенствана изработка, която обединява традиционните умения за духане на стъкло с CNC-контролирано шлайфане и полиране; и задълбочена проверка с помощта на поляризирана светлина за откриване на остатъчно напрежение и лазерна интерферометрия за прецизни проверки на размерите.