Държачът за пластини за ецване ICP на Semicorex е идеалното решение за процеси на работа с пластини при висока температура, като епитаксия и MOCVD. Със стабилна устойчивост на високотемпературно окисление до 1600°C, нашите носители осигуряват равномерни топлинни профили, модели на ламинарен газов поток и предотвратяват замърсяване или дифузия на примеси.
Прочетете ощеИзпратете запитване