Конструктивни разлики между различните типове реактори

Въз основа на конфигурацията на реакционната камера оборудването за термична обработка (тръбно оборудване за пещ) се разделя главно на три категории: вертикални тръби за пещ, хоризонтални тръби за пещ и пещи за бърза термична обработка (RTP).

Вертикалните тръби на пещта имат вертикално разположени кварцови тръби, като пластините са разположени около тръбите за нагряване. Техните основни предимства са равномерно разпределение на температурата, прецизен контрол на атмосферата, висока степен на автоматизация, по-малко замърсяване с частици, малък отпечатък и поддръжка за партидна обработка (особено подходящо за 12-инчови вафли), което ги прави основното оборудване, налично в момента. Размерът на световния пазар достигна 3,2 милиарда долара през 2024 г. (данни на SEMI). Техните недостатъци включват лесно разделяне на газ-течност и низходящия поток на средата, което потенциално причинява изгаряне на тръбата на пещта.

Хоризонталните пещни тръби имат хоризонтално разположени кварцови тръби, обработващи 100-200 вафли наведнъж. Техните предимства включват равномерен поток газ-течност в тръбата на пещта и по-прецизен контрол на температурата. Техните недостатъци включват по-голям отпечатък и по-голяма консумация на междинни тръбни опори от високолегирана стомана. Структурно, хоризонталните тръби на пещта поставят пластините вертикално в хоризонтални тръби за обработка.

Пещите за бързо термично отгряване (RTP) използват халогенни инфрачервени лампи за бързо нагряване на единични пластини, като предлагат бързи скорости на нагряване и охлаждане, които променят само температурата на пластините, без да променят температурата в камерата. Те са подходящи за бързо отгряване на малки партиди, но не и за масово производство.

При обработката на пластини хоризонталните тръби на пещта поставят пластината върху кварцова лодка, която от своя страна лежи върху опорна рамка от силициев карбид (SiC). След това опорната рамка се вкарва в тръбата на кварцовата пещ, където пластината претърпява реакцията в зона с постоянна температура. Вертикалните тръби на пещта, от друга страна, поставят пластината върху кварцова кула и бавно я повдигат в тръбата на кварцовата пещ за обработка. След реакцията вафлата се спуска бавно, за да се предотврати огъване или счупване.

Semicorex доставя висококачествени персонализираниреактор с кварцова пещ. Нашите продукти са проектирани да осигурят превъзходна термична стабилност, удължен експлоатационен живот и изключителна последователност на процеса. За персонализирани решения или допълнителна техническа информация, моля не се колебайте да се свържете с нашия инженерен екип.

Телефон: +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com