Колко важни са вафлените лодки от силициев карбид?

В производството на полупроводници, освен основното технологично оборудване като фотолитография и ецване, друг тип фундаментални компоненти играят решаваща роля за стабилността на процеса:вафлена лодка.

Особено през последните години, с развитието на високотемпературни процеси и полупроводници от трето поколение, лодките от силициев карбид, изработени от силициев карбид, тихомълком се превръщат в индустриален стандарт.

И така, каква роля играе този на пръв поглед незначителен компонент в производството на полупроводници?

01 Основни функции на вафлена лодка

Лодка за вафли е технологичен носител, използван за задържане на вафли, използван предимно в оборудване за обработка при висока температура.

В процеса на производство на полупроводници, пластините преминават през множество стъпки на термична обработка, като дифузия, окисление, отгряване и химическо отлагане на пари (CVD). По време на тези процеси вафлите обикновено се обработват групово в тръбно оборудване за пещ, а лодката за вафли изпълнява следните функции:

- Поддръжка на множество вафли и поддържане на стабилно разстояние

- Осигуряване на позиционна стабилност на пластините в среда с висока температура

- Осигуряване на равномерен газов поток във връзка с оборудването

Структурата и свойствата на материала на вафлената лодка пряко влияят върху разпределението на термичното поле и консистенцията на процеса.

02 Структурни характеристики на лодки от силициев карбид

Лодки от силициев карбидобикновено използват рамков дизайн, предлагащ висока структурна стабилност. Типичните характеристики включват:

- Многослойна слот структура за прецизно позициониране на вафли

- Отворен дизайн за лесен газов поток между пластините

- Рамка с висока твърдост за намаляване на риска от деформация при високи температури

В зависимост от типа оборудване, лодките могат да бъдат проектирани като вертикални или хоризонтални структури и да поддържат различни размери на вафли (напр. 6-инча, 8-инча, 12-инча).

03 Избор на материал: защоСилициев карбид?

Тъй като полупроводниковите процеси се развиват към по-високи температури и по-висока чистота, традиционните материали като кварц и алуминий са все по-недостатъчни. За разлика от това, силициевият карбид предлага предимства в няколко измерения на производителността.

1. Устойчивост на висока температура: Силициевият карбид проявява добра структурна стабилност в температурния диапазон от приблизително 1200 ℃ до 1400 ℃. При определени условия на висока чистота или специални процеси, той може да се използва в среда с дори по-висока температура. Той не проявява явления на топене или значително омекване, подобни на металните материали при високи температури.

2. Висока топлопроводимост: Силициевият карбид притежава висока топлопроводимост, която помага за намаляване на температурните разлики между пластините, като по този начин подобрява последователността на процеса.

3. Нисък коефициент на топлинно разширение: Силициевият карбид има нисък коефициент на топлинно разширение, което намалява въздействието на топлинния стрес върху пластините по време на процеси на нагряване и охлаждане.

4. Химическа стабилност: Силициевият карбид показва добра химическа стабилност в различни атмосфери, включително окислителни и редуциращи атмосфери. Въпреки това, той все още ще претърпи бавна окислителна реакция в среда с високотемпературен кислород, образувайки защитен слой от силициев диоксид.

5. Чистота на материала и контрол на замърсяването: Силициевият карбид от полупроводников клас обикновено има строго контролирано съдържание на примеси, за да се намали рискът от замърсяване на повърхността на пластината. Съществуват значителни разлики между материалите, използвани в различни степени на процеса.

04 Области на приложение

Лодките от силициев карбид в момента се използват широко в множество области, включително:

- Термична обработка при производството на интегрални схеми

- Производство на силови полупроводникови устройства (напр. SiC устройства)

- Високотемпературна обработка на фотоволтаични силициеви пластини

- Проучване и развитие на полупроводникови материали и процеси

Неговите предимства са още по-изявени в сценарии, изискващи висока температура, силна корозия или висока чистота.

Semicorex предлагаSiC вафлени лодки, пещни тръби, конзолни греблаи т.н. във високотемпературни пещи. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com