Различни приложения на кварца в производството на полупроводници

На пръв поглед,кварцов (SiO2) материализглежда много подобно на стъклото, но специалното е, че обикновеното стъкло се състои от много компоненти (като кварцов пясък, боракс, борна киселина, барит, бариев карбонат, варовик, фелдшпат, калцинирана сода и др.), докато кварцът съдържа само SiO2 и неговата микроструктура е проста мрежа, съставена от тетраедрични структурни единици от силициев диоксид.

Тъй като количеството метални примеси, съдържащи се вкварце много малък и неговата чистота е изключително висока, самият кварц има характеристики и предимства, които другите стъкла не могат да покажат, и е известен като "короната" на стъклените материали. Например, по отношение на топлоустойчивостта, кварцът няма да експлодира, дори ако веднага бъде поставен във вода, след като е изгорен до червено в огъня. По-специфичните предимства са както следва:

1. Устойчивост на висока температура. Точката на омекване на кварцовото стъкло е около 1730 ℃ и може да се използва дълго време при 1150 ℃, а максималната температура може да достигне 1450 ℃ за кратко време.

2. Устойчивост на корозия. С изключение на флуороводородна киселина, кварцът с висока чистота почти не реагира с други киселинни вещества. При високи температури той може да устои на корозия от сярна киселина, азотна киселина, солна киселина, царска вода, неутрални соли, въглерод и сяра. Неговата киселинна устойчивост е 30 пъти по-голяма от тази на керамиката и 150 пъти по-голяма от тази на неръждаемата стомана. Особено неговата химическа стабилност при високи температури е несравнима с други инженерни материали.

3. Добра термична стабилност. Кварцът с висока чистота има много малък коефициент на топлинно разширение и може да издържи на драстични температурни промени. Когато кварцът с висока чистота се нагрее до около 1100°C, той няма да експлодира, когато се постави във вода със стайна температура.

4. Добра пропускливост на светлина. Кварцът с висока чистота има добра пропускливост на светлина в целия спектър от ултравиолетово до инфрачервено, а пропускливостта на видимата светлина е над 93%, особено в областта на ултравиолетовия спектър, максималната пропускливост може да достигне повече от 80%.

5. Добра електрическа изолация. Стойността на съпротивлението на кварца с висока чистота е еквивалентна на 10 000 пъти тази на обикновеното кварцово стъкло. Той е отличен електроизолационен материал и има добри електрически свойства дори при високи температури.

Благодарение на тези отлични физични и химични свойства, кварцовите материали с висока чистота се използват широко в съвременните електронни технологии, полупроводници, комуникации, електрически източници на светлина, слънчева енергия, високопрецизни инструменти за измерване на националната отбрана, лабораторни физични и химически инструменти, ядрена енергия, наноиндустрия и др. По-специално, в бързо развиващата се полупроводникова индустрия, мащабът на силициевите пластини се увеличава, така че производителите на чипове имат голямо търсене на различни кварцови компоненти. Все пак трябва да се отбележи, че за да се предотврати замърсяване по време на процеса на обработка, трябва да се осигури висока чистота на кварцовия материал по време на употреба.

В полупроводниковата индустрия,кварцсе използва широко, а кварцовите продукти с висока чистота са важни консумативи в производството на вафли. Кварцови части като тигели, кристални лодки и тръби за сърцевина на дифузионна пещ, използвани за производство на силициеви монокристали, трябва да използват продукти от кварцово стъкло с висока чистота. Основното целево пазарно приложение на кварцови части в областта на полупроводниците е процесът на дифузия и ецване в леярната за пластини. Те могат да бъдат разделени на две категории: устройства за високотемпературна зона и устройства за нискотемпературна зона. Основните използвани устройства са както следва:

1. Устройствата за високотемпературна зона са главно пещни тръби, стъклени лодки и др., използвани при дифузионно окисление и други връзки, които трябва да бъдат в пряк или индиректен контакт със силициеви пластини в среда с висока температура; те са основно закупени стопени кварцови стъклени материали и произведени чрез термична обработка;

2. Устройствата за нискотемпературна зона включват главно кварцови пръстени, използвани в процеса на ецване, както и кошници за цветя и резервоари за почистване, използвани в процеса на почистване. Те се използват главно в среда с ниска температура. Те закупуват основно газ-рафинирано кварцово стъкло и се произвеждат чрез студена обработка.

Semicorex предлага високо качествокварцови частина полупроводниково ниво. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com