Покритие в термичното поле на полупроводникови силициеви монокристали

Покритите части в полупроводниково силициево монокристално горещо поле обикновено са покрити чрез CVD метод, включително пиролитично въглеродно покритие,Покритие от силициев карбидиПокритие от танталов карбид, всеки с различни характеристики.

Общи точки: субстратът е изостатичен графит с висока чистота, обикновено по-малко от 5ppm пепел; покритие се използва CVD метод; покритието е основно 100% въглерод или силициев карбид; след нанасяне на покритие повърхността е сравнително плътна, газът, особено силициевият газ в пещта или газът от силициев оксид, може основно да бъде блокиран; собственото му изпаряване на прах също е много малко.

Разлики: стандартната дебелина на покритието, пиролитното въглеродно покритие обикновено е около 40um; Покритието със силициев карбид обикновено се прави около 100um, но според различните нужди на клиентите може да се направи 30um~150um, включително едно покритие и две покрития; покритието от танталов карбид обикновено е 35±15um.

Пиролитично въглеродно покритие, плътността му е еквивалентна на тази на непорестия графит, която е около 2,2. Той има ниско съпротивление и висока топлопроводимост в успоредна посока на повърхността, така че може да поддържа консистенцията на повърхностната температура, а също така има нисък коефициент на топлинно разширение и висок модул на еластичност. В перпендикулярна посока на повърхността коефициентът на топлинно разширение е по-голям и топлопроводимостта е по-ниска.

За продуктите, покрити със силициев карбид, модулът на еластичност на покритието е много висок, десетки пъти по-висок от модула на еластичност на вътрешния графитен субстрат, така че, за да се избегне разкъсване на продукта, с него трябва да се борави внимателно.

Пиролитното въглеродно покритие и покритието от силициев карбид на цялото съдържание на примеси е по-малко от 5ppm, където съдържанието на основния метален елемент е по-малко от 0,1 или 0,01ppm, по-трудното за справяне с борния елемент е 0,01 или 0,15ppm.

Semicorex предлага висококачествен продукт за CVD покритие за полупроводници с персонализирано обслужване. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com