Какво представляват графитните фиксатори с SiC покритие?

Тавата (основата), която поддържа SiC вафли, известна още като "гробар," е основен компонент на оборудването за производство на полупроводници. И какъв точно е този ток, който носи пластините?

В процеса на производство на пластини, субстратите трябва да бъдат допълнително изградени с епитаксиални слоеве за производство на устройство. Типичните примери включватLED излъчватели, които изискват GaAs епитаксиални слоеве върху силициеви субстрати; върху проводими SiC субстрати се отглеждат епитаксиални слоеве SiC за устройства като SBD и MOSFET, използвани при приложения с високо напрежение и висок ток; Наполуизолационни SiC субстрати, GaN епитаксиалните слоеве са изградени за конструиране на устройства като HEMT, използвани в радиочестотни приложения като комуникации. Този процес до голяма степен разчита на CVD оборудване.

В CVD оборудването субстратите не могат да бъдат директно поставени върху метал или проста основа за епитаксиално отлагане, тъй като това включва различни влияещи фактори като посока на газовия поток (хоризонтална, вертикална), температура, налягане, стабилност и отстраняване на замърсители. Следователно е необходима основа, върху която се поставя субстратът, преди да се използва CVD технология за отлагане на епитаксиални слоеве върху субстрата. Тази база е известна като aГрафитен приемник с SiC покритие(наричана още основа/тава/носач).

Покритите със SiC графитни фиксатори обикновено се използват в оборудване за металоорганично химическо отлагане на пари (MOCVD) за поддържане и нагряване на монокристални субстрати. Термичната стабилност и еднородността на покрити с SiC графитни фиксатори играят решаваща роля при определяне на качеството на растежа на епитаксиалния материал, което ги прави критични компоненти на оборудването MOCVD.

Технологията MOCVD в момента е основната техника за отглеждане на тънкослойна епитаксия на GaN в производството на сини светодиоди. Той предлага предимства като лесна работа, контролируема скорост на растеж и висока чистота на произведените тънки слоеве GaN. Сцепторите, използвани за епитаксиален растеж на тънък слой GaN, като важен компонент в реакционната камера на оборудването MOCVD, трябва да имат устойчивост на висока температура, равномерна топлопроводимост, добра химическа стабилност и силна устойчивост на термичен шок. Графитните материали могат да отговорят на тези изисквания.

Графитните сензори са един от основните компоненти в MOCVD оборудването и служат като носители и излъчватели на топлина за субстратни пластини, като пряко влияят върху еднородността и чистотата на тънкослойните материали. Следователно тяхното качество пряко влияе върху приготвянето на епи-вафли. По време на производството обаче графитът може да корозира и да се разгради поради наличието на корозивни газове и остатъчни металоорганични съединения, което значително намалява продължителността на живота на графитните фиксатори. Освен това падналият графитен прах може да причини замърсяване на чиповете.

Появата на технологията за покритие предоставя решение на този проблем чрез осигуряване на повърхностна фиксация на прах, подобрена топлопроводимост и балансирано разпределение на топлината. Покритието върху повърхността на графитните фиксатори, използвани в околната среда на оборудването MOCVD, трябва да притежава следните характеристики:

1. Възможност за пълно затваряне на графитната основа с добра плътност, тъй като графитният ток е податлив на корозия в среда с корозивни газове.

2. Силно свързване с графитния фиксатор, за да се гарантира, че покритието не се отделя лесно след множество цикли на висока и ниска температура.

3. Отлична химическа стабилност за предотвратяване на неефективността на покритието при висока температура и корозивни атмосфери. SiC притежава предимства като устойчивост на корозия, висока топлопроводимост, устойчивост на термичен шок и висока химическа стабилност, което го прави идеален за работа в GaN епитаксиални атмосфери. Освен това, коефициентът на топлинно разширение на SiC е много близък до този на графита, което го прави предпочитан материал за покриване на повърхността на графитни фиксатори.

Semicorex произвежда CVD SiC покрити графитни фиксатори, произвеждайки персонализирани SiC части, като вафлени лодки, конзолни лопатки, тръби и т.н. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com