Какво представляват конзолните гребла?

По време на обработката на полупроводникови пластини се използват специализирани пещи за нагряване на пластините. Тези пещи съдържат удължени цилиндрични тръби, където вафлите се поставят върху вафлени лодки на предварително определени и равноотдалечени позиции. За да се гарантира, че оборудването за обработка не губи пластините и за да издържат на условията на обработка в камерата, лодките за пластини и другите устройства, използвани при обработката на пластини, са произведени от материали като силициев карбид (SiC).

Лодките за вафли, натоварени с партида вафли за обработка, се позиционират върху дълги конзолни гребла. Тези лопатки могат да се вкарват и изваждат от тръбните пещи и реактори. Греблата се състоят от сплескана носеща секция, която може да държи една или повече лодки и дълга дръжка, разположена в единия край на сплесканата носеща секция за лесно боравене.

За най-добрите компоненти при обработката на полупроводници се препоръчва използването на конзолна лопатка, направена от прекристализиран силициев карбид с тънък слой CVD SiC. Този материал е с висока чистота и е най-добрият избор за такива компоненти.

Semicorex произвежда персонализирани конзолни лопатки с висококачествено CVD SiC покритие. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com