Относно дефектите в кристалите SiC - Micropipe

SiC субстратът може да има микроскопични дефекти, като дислокация на винта с резба (TSD), дислокация на ръба на резбата (TED), дислокация на основната равнина (BPD) и други. Тези дефекти са причинени от отклонения в подреждането на атомите на атомно ниво. Кристалите SiC могат също да имат макроскопични дислокации, като Si или C включвания, микротръби, шестоъгълни кухини, полиморфи и т.н. Тези дислокации обикновено са с големи размери.

Един от основните проблеми при производството на SiC устройства са триизмерните микроструктури, известни като "микротръби" или "дупки", които обикновено са с размер съответно 30-40um и 0,1-5um. Тези микротръби имат плътност от 10-10³/cm² и могат да проникнат в епитаксиалния слой, което води до дефекти, които убиват устройството. Те са причинени основно от групирането на спиро дислокации и се считат за основната пречка при разработването на SiC устройства.

Дефектите на микротубулите върху субстрата са източник на други дефекти, образувани в епитаксиалния слой по време на процеса на растеж, като кухини, включвания на различни полиморфи, близнаци и т.н. Следователно, най-важното нещо, което трябва да направите по време на процеса на растеж на материала на субстрата за високоволтови и мощни SiC устройства е да се намали образуването на микротубулни дефекти в масивните SiC кристали и да се предотврати навлизането им в епитаксиалния слой.

Микротръбата може да се разглежда като малки ями и чрез оптимизиране на условията на процеса можем да „запълним ямите“, за да намалим плътността на микротръбата. Няколко проучвания в литературата и експериментални данни показват, че епитаксията чрез изпаряване, CVD растеж и епитаксия в течна фаза могат да запълнят микротръбата и да намалят образуването на микротръба и дислокации.

Semicorex използва техниката MOCVD за създаване на SiC покрития, които ефективно намаляват плътността на микротръбите, което води до продукти с най-високо качество. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com