Познаване на конзолно гребло

По време на обработката полупроводниковите пластини обикновено трябва да се нагряват в специализирана пещ. Такива пещи обикновено се състоят от дълги, тънки, цилиндрични тръби. Пластините се разполагат в пещта и реактора по такъв начин, че да са подредени по протежение на равнина, определена от кръговото напречно сечение на пещта или реактора, и да са отдалечени една от друга в предварително определени, обикновено еднакво отдалечени точки по централната ос на пещ или реактор. За да се постигне това позициониране, вафлите обикновено се поставят върху държачи с прорези, наречени вафлени лодки, които поставят вафлите в раздалечена конфигурация, подравнена по централната ос.

Малки лодки, съдържащи партиди вафли за обработка, се поставят върху дълги конзолни гребла, през които тръбните пещи и реакторите могат да се вкарват и изтеглят. Такива гребла обикновено включват плоска носеща секция, върху която могат да бъдат поставени една или повече малки лодки, и дълга дръжка, разположена в единия край на плоската носеща секция, с която могат да се управляват греблата. Обикновено се образува преходна част между дръжката и носещата част, за да ги направи едно цяло. Освен това дръжката трябва да излиза извън пещта или реактора, така че тя и вафлената лодка да могат да бъдат манипулирани.

Позиционирането на кораба за вафли в пещта или реактора е важно, тъй като е желателно центърът на всяка вафла да се постави възможно най-близо до централната ос на пещта или реактора, за да се постигнат еднакви условия на обработка, на които са подложени вафлите. Следователно, огъването на лопатката, причинено от теглото на кораба, носещ вафлите, трябва да се вземе предвид при конструкцията на лопатката, особено след като лопатката се поддържа само в единия край, т.е. краят, който стърчи от камерата на пещта. В допълнение към отчитането на дизайна на греблото, произтичащ от изискванията за работно тегло, трябва също да се използва набор от скоби, предназначени да държат прецизно удължения край на греблото в позиция. Тези скоби трябва да са доста здрави, за да поддържат греблото в точно желаната позиция, като същевременно са лесни за използване и минимизират възможността за повреда на греблото по време на затягане.

Следователно беше необходимо конзолно гребло, което можеше да се използва с по-голямо натоварване, като същевременно остава съвместимо със съществуващите системи за затягане. Имаше също нужда от конзолно гребло, което да показва приемливи характеристики на отклонение в целия диапазон от тегловни натоварвания, с които може да се използва.

Вантилостово гребло се препоръчва да се използва прекристализиран силициев карбид с тънък слой CVD SiC, който е с висока чистота и е най-добрият избор за компонентите в обработката на полупроводници.

Semicorex може да осигуривисоко качествоконзолни греблаиперсонализирани услуги според чертежите и работната среда.