Сухото ецване е основна технология в производствените процеси на микро-електро-механични системи. Изпълнението на процеса на сухо ецване оказва пряко влияние върху структурната прецизност и експлоатационните характеристики на полупроводниковите устройства. За да се контролира прецизно процеса на ецв......
Прочетете ощеСухото ецване обикновено е процес, съчетаващ физически и химични действия, като йонното бомбардиране е решаваща физическа техника за ецване. По време на ецване ъгълът на падане и разпределението на енергията на йони може да бъде неравномерно.
Прочетете ощеАеростатичната плъзгаща пътека от силициев карбид е усъвършенствана направляваща система, която съчетава материалните свойства на силициевия карбид и аеростатичната технология. Обслужвайки като оптимално решение за високопрецизни, високонадеждни и дълготрайни системи за движение, аеростатичните плъз......
Прочетете ощеОсновният метод за получаване на монокристали от силициев карбид е методът за физически пренос на пари (PVT). Този метод се състои главно от кухина на кварцова тръба, нагревателен елемент (индукционна бобина или графитен нагревател), изолационен материал от графитен въглероден филц, графитен тигел, ......
Прочетете ощеSOI, съкратено от Silicon-On-Insulator, е процес на производство на полупроводници, базиран на специални субстратни материали. След индустриализацията си през 80-те години на миналия век, тази технология се превърна във важен клон на модерните процеси за производство на полупроводници. Отличаващ се......
Прочетете ощеЕлектростатичният патронник изпълнява множество функции като равномерен електростатичен разряд, топлопроводимост и адсорбция и фиксация на пластини в областта на производството на полупроводници. Една от основните функции на ESC е стабилно адсорбиране на пластини при екстремни работни условия като в......
Прочетете още