В процеса на предния край (FEOL) на производството на полупроводници, вафлата трябва да бъде подложена на различни процесорни обработки, особено вафлата трябва да се нагрява до определена температура и има строги изисквания, тъй като равномерността на температурата има много важно влияние върху доби......
Прочетете още