Производството на полупроводници, крайъгълният камък на съвременния технологичен напредък, е в постоянно търсене на по-малки, по-бързи и по-ефективни интегрални схеми. Това безмилостно преследване води до необходимостта от все по-прецизни и усъвършенствани производствени процеси, където всяка стъпка......
Прочетете ощеЕлектростатичните патронници (ESC) са станали незаменими в производството на полупроводници и дисплеи с плосък панел, предлагайки метод без повреди, с висока степен на контрол за задържане и позициониране на деликатни пластини и субстрати по време на критични етапи на обработка. Тази статия навлиза ......
Прочетете ощеРазвитието на 3C-SiC, значителен политип силициев карбид, отразява непрекъснатия напредък на науката за полупроводниковите материали. През 80-те години Nishino et al. за първи път постигна 4 μm дебел 3C-SiC филм върху силиконов субстрат с помощта на химическо отлагане на пари (CVD)[1], поставяйки ос......
Прочетете още