Основни стъпки в обработката на SiC субстрат

Обработката на 4H-SiC субстратосновно включва следните стъпки:

1. Ориентация на кристалната равнина: Използвайте метода на рентгенова дифракция, за да ориентирате кристалния блок. Когато лъч рентгенови лъчи падне върху кристалната равнина, която трябва да бъде ориентирана, посоката на кристалната равнина се определя от ъгъла на дифрагирания лъч.

2. Цилиндрично преобръщане: Диаметърът на единичния кристал, отгледан в графитния тигел, е по-голям от стандартния размер и диаметърът се намалява до стандартния размер чрез цилиндрично преобръщане.

3. Крайно шлайфане: 4-инчовият 4H-SiC субстрат обикновено има два позициониращи ръба, основния позициониращ ръб и спомагателния позициониращ ръб. Позициониращите ръбове се шлифоват през челната повърхност.

4. Рязане на тел: Рязане на тел е важен процес при обработката на 4H-SiC субстрати. Повредите от пукнатини и остатъчните повреди под повърхността, причинени по време на процеса на рязане на телта, ще имат неблагоприятно въздействие върху последващия процес. От една страна, това ще удължи времето, необходимо за последващия процес, а от друга, ще доведе до загуба на самата вафла. Понастоящем най-често използваният процес на рязане на тел от силициев карбид е рязане с абразивно многожилно постъпателно свързано с диамант. The4H-SiC слитъксе реже главно от възвратно-постъпателното движение на метална тел, свързана с диамантен абразив. Дебелината на нарязаната пластина е около 500 μm и има голям брой драскотини и дълбоки подповърхностни повреди по повърхността на пластината.

5. Скосяване: За да се предотврати отчупване и напукване по ръба на пластината по време на последваща обработка и за да се намали загубата на шлифовъчни подложки, полиращи подложки и т.н. в следващите процеси, е необходимо да се шлайфат острите ръбове на пластината след телта изрязване на Посочете формата.

6. Изтъняване: Процесът на рязане на тел на блокове 4H-SiC оставя голям брой драскотини и подповърхностни повреди върху повърхността на пластината. За изтъняване се използват диамантени шлифовъчни дискове. Основната цел е тези драскотини и повреди да бъдат премахнати колкото е възможно повече.

7. Смилане: Процесът на смилане е разделен на грубо смилане и фино смилане. Специфичният процес е подобен на този на изтъняване, но се използват борен карбид или диамантени абразиви с по-малък размер на частиците и степента на отстраняване е по-ниска. Отстранява основно частиците, които не могат да бъдат отстранени в процеса на изтъняване. Травми и нововъведени травми.

8. Полиране: Полирането е последната стъпка в обработката на 4H-SiC субстрат и също така се разделя на грубо полиране и фино полиране. Повърхността на пластината произвежда мек оксиден слой под действието на полираща течност, а оксидният слой се отстранява под механичното действие на абразивни частици от алуминиев оксид или силициев оксид. След приключване на този процес по същество няма драскотини и подповърхностни повреди по повърхността на субстрата и той има изключително ниска повърхностна грапавост. Това е ключов процес за постигане на ултра-гладка и без повреди повърхност на 4H-SiC субстрата.

9. Почистване: Отстранете частици, метали, оксидни филми, органични вещества и други замърсители, останали в процеса на обработка.