Познаване на MOCVD

MOCVD е нова технология за епитаксиален растеж в парна фаза, разработена на базата на епитаксиален растеж в парна фаза (VPE). MOCVD използва органични съединения на елементи III и II и хидриди на елементи V и VI като изходни материали за растеж на кристали. Той извършва парна фазова епитаксия върху субстрата чрез реакция на термично разлагане за отглеждане на различни III-V основни групи, тънкослойни монокристални материали на съставни полупроводници от II-VI подгрупа и техните многоелементни твърди разтвори. Обикновено растежът на кристали в системата MOCVD се извършва в кварцова (неръждаема стомана) реакционна камера със студени стени с Н2, протичащ при нормално налягане или ниско налягане (10-100 Torr). Температурата на субстрата е 500-1200°C, а графитната основа се нагрява с постоянен ток (субстратът на субстрата е върху графитната основа) и H2 се барботира през течен източник с контролирана температура, за да пренесе металоорганични съединения към зона на растеж.

MOCVD има широк спектър от приложения и може да отглежда почти всички съединения и сплави на полупроводници. Много е подходящ за отглеждане на различни хетероструктурни материали. Той може също така да отглежда ултратънки епитаксиални слоеве и да получава много стръмни преходи на интерфейса. Растежът се контролира лесно и може да расте с много висока чистота. Висококачествени материали, епитаксиалният слой има добра равномерност върху голяма площ и може да се произвежда в голям мащаб.

Semicorex предлага високо качествоCVD SiC покритиеграфитни части. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com