Вакуумен патронник от порест алуминий

Вакуумният патронник е свързан към вакуумното оборудване чрез свързваща тръба. Когато вакуумният патронник влезе в контакт с детайла, като вафла/тънкослоен материал, вакуумното оборудване започва да работи, създавайки отрицателно налягане вътре във вакуумния патронник. При атмосферно налягане детайлът прилепва здраво към вакуумния патронник, което позволява обработка. След като обработката приключи, вакуумното оборудване спира да работи и бавно запълва вакуумния патронник с газ, като автоматично отделя детайла от патронника. Това завършва затягането, обработката и обработката на детайла.

Основната цел на полупроводниковата фотолитография е да "отпечата" милиарди схеми на транзисторни вериги върху пластина с нанометрова точност. Същността на "фотолитографията" е да се използва източник на светлина за облъчване на силно фоточувствителен фоторезист, предизвиквайки химическа реакция, която ецва веригата. Въпреки това, когато източникът на светлина облъчи пластината, той неизбежно свети и върху електростатичния патронник, който служи като носител на пластината. Получената отразена вторична светлина може да попречи на процеса на фотолитография, причинявайки експониране в нежелани зони и повреждайки веригата. Поради това черната повърхност за вакуумния патронник минимизира отражението, като гарантира изискванията за прецизност на фотолитографската система. Въз основа на тази способност черният алуминиев оксид може да се използва широко не само в електростатични патронници, но и в сценарии за „потискане на светлината“. Настъпването на ерата на изкуствения интелект даде възможност за значително развитие на оптичните комуникационни приложения и черните алуминиеви субстрати често се виждат в опаковките на оптоелектронни устройства и светлоизлъчващи елементи.

Черна алуминиева керамикае направен основно от Al2O3, с добавени оксиди на преходни метали като оцветители и спомагателни вещества за синтероване, синтеровани при определена температура. Оцветителят е решаващ компонент на този тип керамика, определящ крайния й цвят. При избора на оцветители за вакуумни патронници е важно да се гарантира степента на цвят, механична якост, порьозност и размер на порите на вакуумния патронник.

Понастоящем често използваните оксиди на преходни метали като оцветители както в страната, така и в чужбина включват Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 и MnO2, като Fe2O3, CoO, NiO и MnO2 са най-разпространените. Тъй като алуминиевият оксид е по-малко летлив при високи температури, докато оксидите на преходните метали са обратното, тяхната летливост се увеличава с температурата. Тези оксиди образуват съединения от тип шпинел по време на високотемпературно синтероване, което намалява тяхната летливост. Следователно, за да се потисне изпаряването на оксидите на преходните метали, трябва да се изберат подходящи условия на процеса, за да им се позволи да се комбинират в съединения от типа шпинел при по-ниски температури.

Semicorex предлага митницивакуумен патронник от пореста керамика. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com