Какво представляват стъклените вафли?

С развитието на полупроводниковите и оптичните технологии,стъклени вафликато нов тип стъклен продукт, постепенно се превръщат в допълнение към силициевите пластини, показвайки голям потенциал в областта на високите технологии. Какво представляват стъклените вафли? Стъклените пластини са кръгли тънки резени с висока производителност, обикновено направени от кварцово стъкло, стъкло без алкали или композити стъкло-силиций. С отлични физични и химични свойства, те играят незаменима роля в авангардни производствени области, като производство на полупроводници, оптика, MEMS, потребителска електроника, биомедицина и лабораторни изследвания.

Основните материали за стъклени вафли

1.Далечно ултравиолетово кварцово стъкло

Далечно ултравиолетовокварцстъклото се произвежда чрез процес на химическо отлагане на пари, при който газообразният силициев тетрахлорид претърпява реакция в газовата фаза в оксиводороден пламък, за да генерира аморфен силициев диоксид, който след това се отлага върху кварцов субстрат за постепенно нарастване и образуване. Този материал съдържа голямо количество хидроксилни групи (950-1400 ppm), с малко общо количество метални примеси под 0,2 ppm. Благодарение на отличните си свойства като анти-радиационни свойства, оптична еднородност и висока ултравиолетова пропускливост (особено в далечната ултравиолетова област), далечното ултравиолетово кварцово стъкло се прилага широко в приложения в областта на далечната ултравиолетова оптика.

Въпреки това, широкомащабното приложение на далечно ултравиолетово кварцово стъкло е ограничено до известна степен от фактори като ивичните дефекти, които лесно се генерират по време на процеса на приготвяне, трудността при формоване на продукти с големи размери и сложна форма и относително високата производствена цена.

2. Ултравиолетово оптично кварцово стъкло:

Ултравиолетовото оптично кварцово стъкло чрез процеса на пламъчно топене се произвежда чрез топене на естествен кристал с оксиводороден пламък, последвано от отлагане върху повърхността на мишени от разтопено силициево стъкло. Ултравиолетовото оптично кварцово стъкло със съдържание на хидроксил от 150-400 ppm предлага изключителни предимства, като висока ултравиолетова пропускливост, силна химическа стабилност, добра термична стабилност и висока механична якост. Възползвайки се от своя зрял производствен процес и висока рентабилност, ултравиолетовото оптично кварцово стъкло се използва широко в индустрията за електроника и полупроводници.

Ултравиолетовото оптично кварцово стъкло обаче има слаба оптична еднородност и може да съдържа микроскопични дефекти като стрии и микромехурчета, които могат да повлияят на качеството на оптичното изображение и стабилността на лазерното предаване.

3. Инфрачервено оптично кварцово стъкло:

Инфрачервено оптично кварцово стъкло се произвежда чрез разтопяване на кристален прах с помощта на процеса на вакуумно електрофузионно производство. Този материал има ниско съдържание на хидроксил (<5ppm), което води до превъзходна инфрачервена пропускливост. Благодарение на своята превъзходна инфрачервена пропускливост, добри химични свойства и висока механична якост и зряла производствена технология, инфрачервеното оптично кварцово стъкло се използва широко в приложенията на инфрачервената оптика.

Инфрачервеното оптично кварцово стъкло обаче съдържа високо метални примеси и осигурява относително нисък праг на лазерно увреждане, което го прави неподходящо за лазерни приложения с висока енергийна плътност и сценарии, изискващи изключително висока пропускливост на далечна ултравиолетова светлина.