Каква е функцията на пръстените за фокусиране?

Фокусните пръстени са основните компоненти за осигуряване на еднаквост и стабилност на процесите на ецване на полупроводници. Чрез прецизно управление на електрическите и термичните полета фокусиращите пръстени могат да концентрират плазмата върху повърхността на пластината, осигурявайки последователни резултати от ецване във всички места на пластината.

Функциите на пръстените за фокусиране

1. Подобрете равномерността на ецване

В процеса на ецване фокусиращите пръстени могат да концентрират плазмата върхувафлаповърхност, която ефективно гарантира равномерна плътност на плазмата, ъгъл на йонно бомбардиране и енергийни нива както в ръба на пластината, така и в централните области. Те коригират разпределението на електрическото поле по ръба на пластината, намалявайки скоростта на ецване, критичните размери и вариациите на морфологията, причинени от ефектите на ръба, като по този начин осигуряват последователност на ецване по цялата повърхност на пластината. Ако фокусиращият пръстен е прекомерно износен или няма фокусен пръстен, плазмата ще дифундира от ръба на пластината, причинявайки в крайна сметка несъответстващи отклонения в ширината на линията между ръба и централните области.

2. Защитете електростатичния патронник

Фокусните пръстени обикновено се монтират извън повърхността на носещата пластина на електростатичните патронници, директно изложени на плазмено бомбардиране и корозия. Тази настройка на вноската служи като физическа бариера за предотвратяване на контакт на плазмата с електростатичните патронници по време на процеса на ецване, като по този начин значително намалява риска от плазмено увреждане. Фокусните пръстени също могат да предотвратят полепването на страничните продукти, генерирани по време на процеса на ецване, към електростатичните патронници, като по този начин се избягва влошаване на производителността, причинено от замърсяване и запушване на патронника. Това значително удължава цикъла на поддръжка и живота на електростатичните патронници, като намалява разходите за поддръжка и подмяна на оборудването.

Фокусните пръстени обикновено се изработват от висококачествен материалкварц, силицийисилициев карбидматериали. Благодарение на отличното си цялостно представяне, материалите от силициев карбид постепенно се превръщат в основна опция за авангардни процеси на ецване. Като доверен доставчик на пръстени за фокусиране на полупроводници в Китай, Semicorex предлага високо качествофокусни пръстени от силициев карбидс различни размери, за да отговарят на различните изисквания на оборудването за ецване. Semicorex приветства вашите запитвания и покупки по всяко време.