Какъв е прорезът на вафлите?

Прорезът на пластината е V-образен или U-образен жлеб на ръба на aполупроводникова пластина. Далеч не е дефект, възникнал по време на производствения процес, това е критичният структурен маркер, който е умишлено проектиран, чиято основна функция е да позволи прецизно позициониране и идентифициране на ориентацията на пластината. Плоската пластина се използва като маркировка за ориентация в ранните етапи на развитието на технологията за пластини. Въпреки това, тъй като размерите на вафлите постепенно се увеличават, дизайнът с плоски ръбове заема по-ефективна площ, като по този начин постепенно се заменя от по-компактния прорез.

Каква е функцията на прореза за пластини? 

Производството на чипове е процес в нанометров мащаб, при който всяко отклонение в посоката може да доведе до повреда на веригата. Служейки като маркировка за ориентация, прорезът на пластината позволява на машините за литография и ецване бързо да идентифицират кристалната ориентация на пластината, осигурявайки точно подравняване на всяка стъпка на процеса. Всеки чип е позициониран върху пластината според вдлъбнатина, подобно на основния меридиан. Този гениален дизайн позволява моделите на вериги да бъдат литографирани и очертани с вдлъбнатината като референтна база. В допълнение, роботизираните ръце разчитат на прореза на пластината, за да разграничат предната/задната страна на пластината и ориентацията в силно автоматизираната производствена линия, което значително предотвратява повреда на пластината или грешки в процеса, причинени от неправилна работа. Ако прорезът се замърси или повреди, цялата пластина може да бъде отхвърлена като несъответстваща.

Прорезът на пластината също играе решаваща роля за подобряване на добивите при производството на чипове. Тъй като ръбовете на вафлите са предразположени към дефекти като линии на приплъзване и пукнатини по време на производството, прецизното позициониране чрез прорези позволява на оборудването да избягва точно тези дефектни зони, като по този начин намалява отпадъците. Съвременните производствени линии също възприемат технологии като въртене на въздушното окачване за операции по намиране на ръбове. Служейки като маркер за безконтактно откриване, прорезът на пластината не само избягва замърсяване, причинено от механичен контакт, но също така подобрява ефективността и точността на идентификацията.

Semicorex осигурявависококачествени вафли. Ако имате запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за връзка +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com