Повърхностна обработка за висок клас електростатичен патронник

Theелектростатичен патронникизпълнява множество функции като равномерен електростатичен разряд, топлопроводимост и адсорбция и фиксиране на пластини в областта на производството на полупроводници. Една от основните функции на ESC е стабилно адсорбиране на пластини при екстремни работни условия като висок вакуум, силна плазма и широк температурен диапазон.

Това, което наистина определя тяхното представяне, не е външната структура или формулата на основния материал, а процесът на повърхностна обработка. Без професионална повърхностна обработка по време на работа ще възникнат следните проблеми:

1. Плазмена ерозия и замърсяване с метални йони

Незащитените керамични повърхности са уязвими на плазмена ерозия при ецване или CVD процеси. Този тип ерозия може директно да доведе до освобождаване на метални йони или отделяне на керамични частици, като по този начин замърсява пластината.

2. Неравномерна топлопроводимост и деформация на деформация

Грубите повърхности или лошото третиране водят до неравномерен контакт между вафлата иESC, затруднявайки топлопроводимостта и засягайки равномерността на CD.

3. Нестабилна електростатична адсорбция

Неточният контрол на характеристиките на изолацията на повърхността или проводимостта на електростатичния патронник може лесно да доведе до недостатъчна сила на адсорбция или прекомерна адсорбция, което в крайна сметка влияе директно върху добива на обработка на пластини.

Повърхността на ESC от висок клас често приема композитен многослоен структурен дизайн, прецизно регулиращ функционалните зони чрез покрития за постигане на истинска интеграция с висока производителност.

Общите технологии за повърхностна обработка на ESC от висок клас:

1. Флуорополимерни неадхезивни покрития (като PTFE и PFA)

Този вид покритие е особено подходящо за нискотемпературни процеси поради ниската си повърхностна свободна енергия, която ефективно предотвратява адсорбцията на остатъци от фоторезист.

2. Diamond-Like Carbon (DLC) покрития

С висока твърдост, устойчивост на плазма и нисък коефициент на триене, те са подходящи за приложения против ерозия и отделяне на частици в оборудване за ецване.

3. PVD проводими керамични филми (като CrSiN и TiN)

Този тип покритие може да изгради стабилен проводящ път в определена област и по този начин ефективно да избегне проблема с локалното натрупване на заряд чрез прецизно контролиране на равномерното разреждане на повърхностните заряди.

4.Композитни топлопроводими покрития (като диамантен прах и флуорополимерно хибридно покритие)

Този вид покритие съчетава незалепващи качества с топлопроводимост и цялостната му производителност може точно да отговаря на изискванията за приложение на високопрецизен термичен контрол ESC.