Силиконова карбидна вафлена лодка

Зад всеки високотемпературен процес в производството на вафли се крие мълчалив, но важен играч: лодката на вафли. Тъй като основният носител, който директно контактува със силициевата вафла по време на обработката на вафли, неговият материал, стабилност и чистота са пряко свързани с крайния добив на чипа и стабилност на процеса. Сред различните материали на превозвачите,силициев карбид (sic)Лодките постепенно заменят традиционните кварцови решения, превръщайки се в предпочитаното решение за усъвършенствани процеси и оборудване от висок клас.

Защо sic вафли лодки?

С развитието на възлите на процеса под 7Nm и разширяването на високотемпературните прозорци на процесите, традиционните кварцови вафлени лодки все повече се борят по отношение на термичната стабилност, контрол на частиците и управление на живота.

Силиконовите карбидни вафлени лодки обаче постепенно получават известност поради следните предимства:

1.Stable при високи температури:

Те предлагат дългосрочни работни температури от 1350-1600 ° C, като лесно обработват основните процеси като CVD, дифузия и отгряване. Дори краткото излагане на температури от 1800 ° C не показва омекотяване или деформация, което ги прави подходящи за оборудване от по-висок клас, като пещи с един кристален силиций.

2. Лонда експанзия и висока стабилност на термичния шок:

С нисък коефициент на термично разширение те могат да издържат на бързо повишаване на температурата и намаляването, като свежда до минимум структурното напукване, причинено от термичен стрес. Те поддържат отлична морфология и ефективност във високотемпературни, сложни атмосфери (като водород, азот, амоняк и флуориди).

3. Покрийте повърхността и изключително ниско замърсяване:

Висока материална чистота с минимални метални примеси. Ниска грапавост на повърхността, предотвратяване на вторично замърсяване на силициеви вафли; Отличен контрол на грапавостта на повърхността, с RA под 0,1 μm, потиска проливането на частици и отговаря на изискванията за чиста стая на напредналите процеси;

4. Едно парче формоване, прецизно обработени структури с лодки с вафли могат да се оформят директно чрез безлепи3D печат, елиминиране на необходимостта от форми, като значително подобрява ефективността на персонализиране; В комбинация с петосова обработка и технология за рязане на тел, зъбите на лодката са без бури, предотвратявайки драскотини по вафрите и осигуряват гладко автоматизирано управление;

5. Висока сила и дълъг живот: 

Една лодка може да се похвали с висока якост на носене и може едновременно да поддържа десетки до стотици 12-инчови вафли. В сравнение с традиционните кварцови лодки, средният живот на лодката е 5-10 пъти по-дълъг, намалявайки честотата на смяната на оборудването и общата цена на собствеността.

Сценарий на кандидатстване

Широката адаптивност насилициеви карбидни вафли лодкиРазширява приложението си извън полето за полупроводници до различни сценарии на процеса с висока температура, включително нови енергийни материали, LED производство и изследвания на ядрената енергия.

Полупроводникова индустрия

Той е подходящ за ключови процеси като окисляване, дифузия, отлагане на CVD и йонна имплантация, което го прави незаменим високотемпературен носител за процесорни линии под 7nm.

Фотоволтаична индустрия

При възникващите технологии за батерии като TopCon и HJT лодките на вафли се използват във високотемпературни процеси на пещ като LPCVD и отгряване, което спомага за подобряване на енергийната ефективност и степента на конверсия.

Полупроводници от трето поколение

За процесите на растеж на GAN и SIC епитаксиален растеж те поддържат субстрати от сапфир или силициев карбид. Те издържат на корозивни газове като NH₃ и HCl, поддържащи производството на високочестотни устройства за захранване.

Нови енергийни материали и високотемпературна платформа

Поддържа реакцията на синтероване на катодните материали на литиевата батерия и топлинната обработка на материалите на ядрената индустрия, съчетавайки топлинната устойчивост, устойчивост на корозия и чистота.

Semicorex предлага висока чистотаПерсонализирани лодки за вафли SIC. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com