Проводимо покритие с графитни нагреватели

TheПроводимо покритие с графитен нагревателе нов продукт, предназначен за високотемпературна обработка на полупроводници и други вакуумни термични системи. Той използва добрата термична стабилност на графита с висока чистота и отличните повърхностни характеристики на силициев карбид (SIC) покритие. Проводимото покритие графитен нагревател се диференцира допълнително от азотния си SIC слой, който предлага значително подобрена повърхностна проводимост, което го прави особено подходящ за приложения, които се нуждаят от контролиран и дори отопление с страхотни електрически характеристики.

Нагревателят е конструиран с графитен субстрат с висока якост, който действа като основен структурен и термичен проводник. Графитът е избран, специално като се имат предвид високите си нива на топлинна проводимост, нисък коефициент на термично разширение и устойчивост на топлинен шок. Тези характеристики правят графита подходящ основен материал в приложения с висока температура, където може да има бързи цикли на отопление и охлаждане. Самият девствен графит е химически реактивен в определени атмосфери и може да изпита повърхностно увреждане или разграждане, излъчване на частици или пренасяне по време на удължена употреба, особено в среди за почистване на полупроводници.

За да се преодолее тези ограничения, графитната част е покрита с дебел, високо чист SIC слой. SIC покритието обслужва множество функции: Осигурява ниво на защита срещу окисляване и химическа корозия, осигурява много твърда, устойчива на износване повърхност и гарантира съвместимост със стандартите за вакуум и чиста стая. SIC има репутация на изключителна твърдост, висока топлопроводимост и химическа инертност; Поради тази причина това е отличен материал за покритие за високоефективни топлинни компоненти.

Уникалната иновация на този продукт е азотният допинг на SIC покритието. По време на процеса на отлагане на химически пари (CVD) азотните атоми се вграждат в SIC решетката, произвеждайки свободни носители, което може драстично да намали повърхностното му съпротивление и следователно да създаде проводим повърхностен слой и да позволи на тока да премине директно, вместо да използва точка за достъп, през SIC покритието, като по този начин позволява на целия графитен компонент да действа като резистентна нагревателна точка.

КласическиSic покритияса изолативни, което наистина ги ограничава в обхвата на активните електрически приложения. И обратно, азотният SIC слой на нагревателя има изключително ниска повърхностна устойчивост, като същевременно поддържа всички механични и химични ползи от класическия SIC. Проводимият слой осигурява много добра униформа на тока и свежда до минимум загубата на мощност, като същевременно подобрява термичното разпределение на повърхността на нагревателя. Той е особено идеален за прецизни приложения за отопление при условия, често свързани с епитаксиални реактори, дифузионни пещи и бързо оборудване за термична обработка (RTP).

Геометрията на нагревателя, обикновено спирална или серпентина, както е показано на изображението, е проектирана и оптимизирана с намерението за производство на еднаква термична изходна енергия и равномерно електрическо натоварване. С интегрирания дизайн на графита и проводимото SIC покритие могат да се извършват електрически контакти директно върху покритата повърхност, която елиминира нуждата от допълнителни електроди или метална връзка. Това намалява рисковете за замърсяване и води до по -просто сглобяване. Следователно общата ефективност се подобрява.

Основни предимства на проводимосттаГрафитен нагревател с покритие от SICВключете:

Отлична електрическа проводимост поради азотен допинг, което позволява директен поток на тока и ефективно резистивно отопление.

Превъзходна топлинна равномерност с прецизен контрол на температурата върху цялата повърхност.

Висока химическа устойчивост, особено в корозивна среда като водород, амоняк или атмосфери, богати на халоген.

Минимално генериране на частици, отговарящи на строгите изисквания за чистота на производството на полупроводници.

Разширен експлоатационен живот, поради механичната издръжливост и устойчивост на термичен удар както на графитното ядро, така и на SIC покритието.

Приложенията за този нагревател се простират в редица модерни технологични индустрии. Нагревателят ще намери място в процесите на производство на полупроводници като отлагане на химически пари (CVD), епитаксия на молекулярния лъч (MBE) и отгряване на вафли, където прецизният контрол на температурата и чистотата на материалите са критични. Графитен нагревател с покритие SIC може да се използва и при фотоволтаично производство, синтероване на напреднала керамика и в други термични процеси, където са необходими по-високи показатели, издръжливост и здрави нагреватели.

В обобщение, проводимият графитен нагревател с покритие от SIC е впечатляващ напредък в разработването на топлинни компоненти. Използвайки азотно-легирано SIC покритие, ние разработихме ефективен топлинен продукт, който успешно комбинира химическата стабилност на SIC покритието с електрическа проводимост. По този начин, произвеждайки термичен процес, който е по -ефективен, по -чист и по -надежден за най -взискателните индустриални приложения. Промишлеността на полупроводниците и материалите се сблъскват с продължителната промяна и хибридните материали от този вид ще станат все по -важни за осигуряването на бъдещи по -модерни технологии за производство.

Semicorex предлага висококачественографитни нагреватели с покритиепродукти. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com