Полупроводникови душове

TheПлоча за разпределение на газ, често наричан "душ -глава", може да прилича на конвенционална душ, но цената му може да достигне до стотиците хиляди, значително по -високи от типичния душ в банята.

Повърхността на газовата плоча разполага с стотици или дори хиляди мънички, прецизно подредени дупки, наподобяващи фино изтъкана невронна мрежа. Този дизайн позволява точен контрол на газовия поток и ъгли на инжектиране, като се гарантира, че всяка част от зоната за обработка на вафли е равномерно „окъпана“ в процесорния газ. Това не само повишава ефективността на производството, но също така подобрява качеството на продукта.

Плочата за разпределение на газ е неразделна част от ключови процеси като почистване, офорт и отлагане. Той пряко влияе върху точността на полупроводниковите процеси и качеството на крайните продукти, което го прави критичен компонент в различни приложения за разпределение на газ.

По време на процеса на реакция на вафли, повърхността надуше плътно покрит с микропори (бленда 0,2-6 mm). Чрез прецизно проектираната структура на канала и газовия път, специалният процесен газ трябва да премине през хиляди малки дупки на равномерната газова плоча и след това да бъде равномерно депозиран върху повърхността на вафли. Филмовият слой в различни области на вафлата трябва да осигури висока равномерност и консистенция. Следователно, в допълнение към изключително високите изисквания за чистота и устойчивост на корозия, плочата за разпределение на газа има строги изисквания относно консистенцията на блендата на малките дупки върху плочата за разпределение на газа и бурите на вътрешната стена на малките дупки. Ако толерантността към размера на блендата и консистенцията стандартното отклонение е твърде голямо или има бури на всяка вътрешна стена, дебелината на отложения филмов слой ще бъде различна, което ще повлияе пряко на добива на процеса на оборудването.

Материалът на разпределителната плоча понякога е крехък материал (като еднокристален силиций, кварцово стъкло, керамика), което е лесно да се разруши под действието на външната сила. Освен това е ултра дълбока дупка в рамките на 50 пъти по-голям от диаметъра на микропора и ситуацията на рязане не може да се наблюдава директно. В допълнение, топлината на рязане не е лесна за предаване и отстраняването на чипа е трудно, а битът на свредлото лесно се счупи поради запушване на чипа. Следователно неговата обработка и подготовка е много трудна.

В допълнение, при плазмени процеси (като PECVD и сухо офорт), душът, като част от електрода, също трябва да генерира равномерно електрическо поле чрез RF захранване, за да насърчи равномерното разпределение на плазмата, като по този начин подобрява равномерността на офорт или отлагане.

Тъй като газовете, използвани в процеса на производство на полупроводници, могат да бъдат с висока температура, високо налягане или корозивна, душката обикновено е изработена от устойчиви на корозия материали. В действителното производство, поради различни сценарии за използване и действителна необходима прецизност, плочата за разпределение на газа може да бъде разделена на следните две категории според неговия материал със състав:

(1) Плоча за разпределение на метален газ

Материалите на плаките за разпределение на металния газ включват алуминиева сплав, неръждаема стомана и никел метал, сред които най -широко използваният материал за разпределение на металния газ е алуминиева сплав, тъй като има добра топлопроводимост и силна устойчивост на корозия. Той е широко достъпен и лесен за обработка.

(2) Неметална плоча за разпределение на газ

Материалите с неметални плочи за разпределение на газ включват едно кристален силиций, кварцово стъкло и керамични материали. Сред тях често използваните керамични материали са CVD-SIC, алуминиева керамика, силициева нитридна керамика и др.

Semicorex предлага висококачественоCVD SIC душовев полупроводниковата индустрия. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com