Въвеждане на алуминиев материал

Алуминиев керамикаКомпонентите имат отлични свойства като висока твърдост, висока механична якост, устойчивост на супер износване, висока температурна устойчивост, високо съпротивление и добри характеристики на електрическа изолация. Те могат да отговарят на сложните изисквания за производителност на производството на полупроводници в специални среди като вакуум и висока температура. Те играят незаменима и важна роля в производствените линии за производство на полупроводници. Приложенията им обхващат почти цялото оборудване за производство на полупроводници и са ключови компоненти на оборудването за производство на полупроводници. С непрекъснатото развитие на полупроводниковата индустрия значението на алуминиевите керамични компоненти в индустриалната верига ще стане по -известна.

Тъй като размерът на характеристиките на чипа намалява, полупроводниковото оборудване има по -строги изисквания към компонентите, а плътността му, равномерността, устойчивостта на корозия и др. През последните години вътрешните и чуждестранните учени са разработили различни нови процеси за подобряване на условията на синтероване на керамични материали от алуминиев оксид, така че те да могат да постигнат бързо уплътняване на материалите при по-ниски температури на синтероване, като самопропасително налягане на високотемпературното синтероване, светкавично синтероване, студено синтероване и осциращо засилване на налягането. Сред тях студеното синтероване е да се добави преходен разтворител към праха и да се приложи голямо налягане (350 ~ 500mpa), за да се засили пренареждането и дифузията между частиците, така че керамичният прах да може да се синхронизира и уплътнява при по -ниска температура (120 ~ 300 ℃) и по -кратко време.

Понастоящем глобалният интегриран процес на производство на вериги се е развил до по-напреднал процес на ниво 3-нанометър. Полупроводниковото оборудване и полупроводниковото оборудване Прецизните компоненти трябва да бъдат непрекъснато разработени и модернизирани, а подобренията на процесите трябва да бъдат направени, за да се отговори на производствените нужди надолу по веригата. След като се актуализира полупроводниковото оборудване, специфичните изисквания на новото оборудване за компоненти ще се променят синхронно. С развитието на полупроводниковата технология изискванията за производителност на алуминиевите керамични компоненти стават все по -високи, включително по -висока устойчивост на износване, висока температурна устойчивост и по -добра електрическа изолация. Тенденциите в индустрията са склонни да развиват по -висока чистота, по -фини структурни алуминиеви прахови материали и да приемат модерни технологии за подготовка.

Алуминиева керамикаимат много високи изисквания за чистота, когато се използват в полето за полупроводници, като цяло по -големи от 99,5%. В полето за полупроводници, керамичните части на алуминиев оксид са една от ключовите части на полупроводниковото оборудване. Повечето от тях се използват в камери по -близо до вафлата. В полупроводниково оборудване те се класифицират по употреба и са разделени главно на пръстеновидни цилиндри, водачи на въздушен поток, фиксирани натоварване, ръчно притискащи уплътнения, модули и т.н.

В процеса на офорт, за да се намали замърсяването на вафлата по време на плазменото ецване, алуминиевите покрития с висока чист или алуминиевата керамика със силна устойчивост на корозия се избират като защитни материали за камерата за офорт и облицовката на камерата.

В процеса на почистване на плазмата се използват корозивни газове, съдържащи силно реактивни халогенни елементи като флуор и хлор. Газовата дюза обикновено е изработена от алуминиева керамика, която е необходима за висока плазмена устойчивост, диелектрична якост и силна устойчивост на корозия срещу процесорни газове и странични продукти. В същото време структурата на вътрешната прецизна дупка се използва за точно контрол на потока на газа.

В процеса на производство на полупроводници вафлата може да претърпи високотемпературна обработка, като ецване, йонна имплантация и др. Като носител за предаване на вафли, носителят на алуминиев вафли може да гарантира стабилността и безопасността на вафлата по време на процеса на предаване. Носителят на алуминиевите вафли има добра топлопроводимост и може ефективно да разпръсне и изнася топлината, генерирана от вафлата, като по този начин предпазва вафлата от термични увреждания.

При боравенето с вафли ще се използва керамична роботизирана ръка, изработена от алуминиева керамика. Той ще бъде инсталиран на робот за обработка на вафли, който е еквивалентен на ръката на робота. Той е отговорен за носенето на вафла до определеното място, а повърхността му е в пряк контакт с вафлата. Тъй като вафлите са изключително податливи на замърсяване от други частици, те обикновено се извършват във вакуумна среда. В тази среда роботизираните оръжия на повечето материали обикновено им е трудно да завършат работата. Материалите, използвани за направата на роботизираните оръжия, трябва да бъдат устойчиви на високи температури, устойчиви на износване и имат висока твърдост. Поради изискванията на условията на труд, те обикновено са изработени от изключително високо чистота алуминиеви керамични материали, а точността и грапавостта на повърхността на керамичните части трябва да бъдат гарантирани.

Semicorex предлага висококачественоАлуминиеви керамични частив полупроводник, включително SIC покрития и TAC покрития. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com