Защо да изберете графитни фиксатори с SiC покритие?

Графитен сенцепторе една от основните части в оборудването MOCVD, е носителят и нагревателят на подложката за пластини. Неговите свойства на термична стабилност и термична еднородност играят решаваща роля в качеството на епитаксиалния растеж на вафли, което директно определя еднородността и чистотата на материалите на слоя, в резултат на което качеството му пряко влияе върху подготовката на епитаксия. Междувременно, с увеличаването на броя на употребите и промените в условията на работа, много лесно се губи и принадлежи към консумативите. Отличната топлопроводимост и стабилност на графита го правят добро предимство катобазов компонент за MOCVD оборудване. Въпреки това, ако се използва само чист графит, той ще се сблъска с някои проблеми. В производствения процес ще има корозивен газ и метални органични остатъци, а графитната основа ще корозира и ще отдели праха, което значително намалява експлоатационния живот награфитен сенцептор, а падналият графитен прах също ще причини замърсяване на чипа, така че и в процеса на подготовка на основата. Тези проблеми трябва да бъдат решени по време на подготовката на основата. Технологията на покритието може да осигури фиксиране на праха на повърхността, да подобри топлопроводимостта и да изравни топлинното разпределение, което се превръща в основната технология за решаване на този проблем. Основната технология е да се реши този проблем. Според средата на приложение и изискванията награфитни фиксатори, повърхностното покритие трябва да има следните характеристики.

Висока плътност и пълно обвиване: графитната основа като цяло е във висока температура, корозивна работна среда, повърхността трябва да бъде напълно обвита, докато покритието трябва да има добра плътност, за да играе добра защитна роля.

Добра плоскост на повърхността: Тъй като графитната основа, използвана за растеж на монокристал, изисква много висока плоскост на повърхността, първоначалната плоскост на основата трябва да се поддържа след приготвяне на покритието, т.е. повърхността на покритието трябва да бъде еднородна.

Добра якост на свързване: Намаляването на разликата в коефициента на топлинно разширение между графитната основа и материала на покритието може ефективно да подобри якостта на свързване между тях и покритието не е лесно да се напука след термични цикли с висока и ниска температура.

Висока топлопроводимост: Висококачественият растеж на чипове изисква бърза и равномерна топлина от графитната основа, така че материалът за покритие трябва да има висока топлопроводимост.

Висока точка на топене, висока температура на окисление и устойчивост на корозия: Покритието трябва да може да работи стабилно при висока температура и корозивна работна среда.