Керамични нагреватели

В процеса на предния край (FEOL) на производството на полупроводници,вафлатрябва да се подлага на различни процесорни обработки, особено вафлата трябва да се нагрява до определена температура и има строги изисквания, тъй като равномерността на температурата има много важно влияние върху добива на продукта; В същото време полупроводниковото оборудване трябва да работи в присъствието на вакуум, плазма и химически газове, което изисква използването на керамични нагреватели.Керамични нагревателиса важни компоненти на оборудването за отлагане на тънък филм за полупроводници. Те се използват в процесорната камера и директно се свързват с вафлата, за да носят и позволят вафлата да получи стабилна и равномерна температура на процеса и да реагира с висока точност на повърхността на вафлата за генериране на тънки филми.

Тъй като оборудването за отлагане на тънък филм, използвано от керамичните нагреватели, включва високи температури, обикновено се използват керамични материали, основно на базата на алуминиев нитрид (ALN). Тъй като алуминиевият нитрид има електрическа изолация и отлична топлопроводимост; В допълнение, коефициентът на термично разширяване е близък до този на силиций и има отлична плазмена устойчивост, той е много подходящ за използване като компонент на полупроводници.

Електростатичните патронници (ESC) се използват главно в ецване на оборудване, главно алуминиев оксид (AL2O3). Тъй като самият електростатичен патрон съдържа и нагревател, като се взема сухо офорт като пример, е необходимо да се контролира вафлата при специфична температура в диапазона от -70 ℃ ~ 100 ℃, за да се поддържа определена характеристика на офорт. Следователно вафлата трябва да се нагрява или разсейва от електростатичния патрон, за да се контролира точно температурата на вафли. В допълнение, за да се гарантира равномерността на повърхността на вафлите, електростатичният патрон често трябва да увеличи зоната за контрол на температурата, за да контролира температурата на всяка зона за контрол на температурата поотделно, за да подобри добива на процеса. Разбира се, с развитието на технологиите, разграничението между традиционните керамични нагреватели и електростатичните патрони започва да се размива. Някои керамични нагреватели имат двойните функции на високотемпературното отопление и електростатичната адсорбция.

Керамичният нагревател включва керамична основа, която носи вафлата и цилиндричното тяло, което я поддържа на гърба. Вътре или на повърхността на керамичната основа, в допълнение към елемента на съпротивление (нагревателен слой) за нагряване, има и радиочестотен електрод (радиочестотен слой). За да се постигне бързо отопление и охлаждане, дебелината на керамичната основа трябва да бъде тънка, но твърде тънка също ще намали твърдостта. Поддържащото тяло на нагревателя обикновено е направено от материал с коефициент на термично разширение, подобен на този на основата, така че корпусът на опора често също е изработен от алуминиев нитрид. Нагревателят приема уникална структура на вал (вал) фуга в долната част, която може да защити клемите и проводниците от ефектите на плазмата и корозивните химически газове. В входа на газовата проводимост и изходната тръба са предвидени в корпуса на опора, за да се осигури еднаква температура на нагревателя. Основата и опорното тяло са химически свързани с свързващ слой.

Semicorex предлага висококачественокерамични нагреватели. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com