Как напредналите материали решават 3 критични предизвикателства в дизайна на пещта на полупроводника

Състезанието за свиване на транзисторните размери и мащабната ефективност на слънчевите клетки изтласква оборудването за термична обработка до нейните граници. В Semicorex прекарахме две десетилетия в сътрудничество с водещи полупроводници и PV производители, за да се справим с повтаряща се болка: Когато стандартните материали се провалят при екстремни условия, цели производствени партиди могат да бъдат компрометирани.

CVD покрития: бронята за компоненти на процеса

Химическите отлагания на пари (CVD) Покрития като силициев карбид (SIC) и Tantalum карбид (TAC) са революционизиращи компонентно дълголетие в сурови среди:

Sic покритиеПредимства:

Издържа на температури до 1650 ° C в инертна атмосфера

Намалява замърсяването на частиците в епитаксиалните реактори на растежа

Удължава експлоатационния живот на графитните поредици с 3-5x

TAC покритиеВ дифузионни бариери:

Предотвратява разтопената инфилтрация на силиций в кръстосани (99,999% задържане на чистота)

Минимизира Wafer Warpage по време на бърза термична обработка (RTP)

Когато температурите надвишават 1600 ° C: предимството на CVD покритие

Това не е магия - това е наука за материалите. Нашият патентован CVD процес отлага както SIC, така и TAC покрития с точност на атомно ниво, създавайки повърхности, които:

Съпротивлявайте се на силициева парна корозия 3 пъти по -дълга от стандартните покрития

Поддържайте изменение на дебелината на <0,5 µm в сложните геометрии

Елиминирайте разслояването на покритието дори при термично колоездене

Мълчаливата криза в топлинната равномерност

В пещите за растеж на кристалите непостоянното разпределение на температурата може да превърне 250 000 долара силициев сбит в скрап. Чрез материални иновации като:

Графитен филц, класиран на плътност (0.18-0.25g/cm³ Градиентен дизайн)

Въглеродни въглеродни композитни изолатори с <2% анизотропия на термично разширяване

... Помогнахме на клиентите да постигнат:

✔ ± 1,5 ° C Аксиална температурна равномерност в 300 мм Czochralski системи

✔ 40% по -бързи скорости на охлаждане без сплитане

Защо кварцовата чистота има значение повече от всякога

Когато леянието Tier-1 MEMS проследи дефекти на частиците към техните облицовки на камера за офорт, нашият разтворен кварцов разтвор без балони: разтвор:

Намалено замърсяване с метали с 89% (ICP-MS анализ)

Разширени интервали за превантивна поддръжка от 3 до 8 месеца

Постигна 99,999% първоначална чистота с <0,1PPB алкално метално съдържание

Отвъд спецификациите: Инженеринг на приложения има значение

Докато техническите спецификации осигуряват базови сравнения, производителността в реалния свят зависи от:

• Свързване на материално -обработка - Как компонентите взаимодействат със специфични химикали (например, Cl₂ срещу SF₆ плазми)

• Библиотеки за режим на отказ - Нашата база данни от 1200+ случаи на отказ на компоненти информира избора на материали

• Персонализирано класиране - Регулиране на порьозността/проводимостта на графит в напречните сечения на части

Semicorex предлага висококачественоTantalum карбидно покритиеиСиликонов карбид покритПерсонализирани части. Ако имате някакви запитвания или се нуждаете от допълнителни подробности, моля, не се колебайте да се свържете с нас.

Телефон за контакт # +86-13567891907

Имейл: sales@semicorex.com